简要描述：日本进口HUGLE藤宫笔式微型 X 射线除静电器
HUGLE 藤宫 软 X 射线无风除静电器全系列（无气源、无风、零粉尘、0 臭氧，半导体 Fab / 光刻专用） 产品架构：控制器 + X 射线照射头（SXH），整机型号 ISX/SXN 两大产品线，全部无风式、不靠压缩空气、光电离产生离子

一、ISX 系列（标准紧凑型｜单头 / 多头，晶圆腔体、光刻腔主力）

1.ISX-224（单头标配款，型号：控制器 ISX-224C + 照射头 SXH-224）

• 电离方式：软 X 射线光电离、无风无气源

• 照射头尺寸：30×50×96mm，重量 350g

• 功耗：单头 11W，输入 AC100~240V 50/60Hz

• 除电距离：20~300mm，有效照射半径 120mm

• 工作温区：0~40℃，Class1/10/100 无尘可用

• 射线管寿命：约 30000H（3.5 年），无放电针、免日常清洁

• 离子平衡：±3V 以内，0 臭氧、无粉尘析出

1. 8/12 寸晶圆 FOUP 盒内部除静电

2. 光刻 Reticle 掩模版腔体、涂布机密闭腔体内除电

3. 固晶机、探针台狭小密闭内腔无风除静电

2.ISX-224-2（一拖二：ISX-224C 控制器 + 2 支 SXH-224）

• 总功耗 22W，双照射头、双区域同步除电

• 适用：机台双通道上下料腔体、双边晶圆传送工位

3.ISX-224-4（一拖四：1 台控制器带 4 个 SXH-224）

• 总功耗 44W，大面积腔体、多模组封装机内腔

二、SXN 系列（大照射功率款｜SXC 控制器 + SXH-10V 照射头，**先进制程专用）

1.SXN-10V（单机单头：SXC-10T+SXH-10V）

• 单头功耗 23W，AC100~240V 宽电压

• 照射头 φ42×70mm，有效半径 180mm

• 除电速度：±10kV→100V＜0.8s

• 适用常压 / 低真空腔体

2.SXN-102V（一拖二：SXC-102T+2×SXH-10V）

• 整机功耗 40W，双点位独立控温

  场景：晶圆镀膜 PVD 腔体、干刻腔体内部

3.SXN-104V（一拖四：SXC-104T+4×SXH-10V）

• 整机功耗 50W，整段密闭流水线内腔全覆盖

  场景：面板 LCD/OLED 蒸镀腔体、大片玻璃基板密闭制程

三、笔式微型 X 射线除静电器 ISX-PEN（手持笔型无风 X 射线）

• 笔身 Φ16×150mm，手持单点定点照射

• 功耗 8W，照射半径 50mm

  应用：显微镜下裸晶粒、微小 IC、光罩边角单点除静电，实验室返修

四、长条型 X 射线无风离子棒 ISX-BAR（线性长幅照射，整段流水线内嵌）

• 分段内置 X 射线模组，1 米棒体分 3~5 个 X 光源

• 全段无风、无需气源，嵌入机台内壁

  场景：晶圆传送轨道、真空炉出入口密闭段除静电

五、全系列选型对照表

六、X 射线除电器通用特点

1. 无风、不用空压机 / 氮气，无气流扰动晶圆偏移

2. 无放电钨针 / 硅针，无粉尘脱落、0 臭氧，适配 1nm 先进制程

3. 离子平衡趋近 0V，不会反向充电元器件

4. 仅到期更换 X 射线管，全程免日常擦拭保养