日本HUGLE藤宫台式 / 悬挂离子风机
简要描述:日本HUGLE藤宫台式 / 悬挂离子风机HUGLE 藤宫(日本)半导体全系列产品(晶圆制造 / 封装 / FOUP 清洗 / 除静电 / 干式清洗五大主线) 藤宫是半导体无尘车间静电管控 + 精密干式除尘 + 晶圆后段设备 + FOUP 载具清洗头部日企,产品覆盖前道晶圆厂、封装厂、FPC/PCB、面板,和你主营 USHIO 光源、UNIHARD 固化设备配套配套产线使用。
详细介绍
| 品牌 | HUGLE/藤宫 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
日本HUGLE藤宫台式 / 悬挂离子风机
日本HUGLE藤宫台式 / 悬挂离子风机
一、台式 / 悬挂离子风机(机台腔体、AOI、固晶机标配)
1.MODEL 1900(主流大单风机|8/12 寸 Fab、封装主力)
供电:AC100~240V→DC24V 适配器,输入 0.85A MAX
离子平衡:±10V(高精度,无尘 Class100 可用),臭氧<0.001PPM
风量:0.89~3.68m³/min 无级调速,安装距离 300~1000mm
尺寸:164×63×181.5mm,净重 750g;自带手动清洁刷、故障 / 清洁 LED 报警 + 信号输出
输出高压:±6.5kV 直流放电
半导体应用
晶圆检测机腔体、AOI 光学检测工位、固晶 / 焊线机内部、FOUP 出料口、晶圆划片上料区,消除静电吸附粉尘、防止芯片静电击穿。
2.MODEL30/30N(小型桌面风机|小工位定点除电)
参数DC24V 供电,微型机身,离子平衡 ±15V,小风量定点送风,自带高压异常报警;
应用:芯片分选机台面、显微镜金相检测、小件 IC 封装、LED 晶粒摆盘工位。
3.MODEL1401(迷你壁挂风机|狭小机台模组)
DC24V,风量 0~1.5m³/min 可调,超薄机身;
应用:UV 固化炉出入口、UNIHARD 固化设备腔体、FPC 曝光机侧边除静电。
二、DC 脉冲离子风棒 MODEL453 系列(流水线固定式,半导体制程用量*大)配套控制器:470A(直流)/470M(脉冲直流),一控多棒,*多驱动 6 支 453 棒
453 本体参数
棒体供电:DC12V 低压控制线(**无尘车间),单棒输入 0.2A MAX
输出高压:±4.8~7kV,可选钨针 / 多晶硅放电针(半导体高洁净标配多晶硅)
有效除电距离:50~1000mm,棒长可定制 572~2500mm
模式切换:控制器一键切换连续 DC / 脉冲 DC,离子平衡 ±5V 以内
半导体全制程点位
前道 Fab:晶圆涂胶前、光刻剥离、贴膜 / 撕膜、镀膜上下料口;
封装厂:晶圆 UV 膜裁切、扩晶机 HS 进料、划片进料、塑封进料;
FPC/PCB:干膜曝光线、绿油涂布、基板清洗后干燥段(搭配 USG 干式清洗机)。
常用细分型号:453S-600/800/1000-WCG(WCG = 多晶硅针洁净款)
1.POLAR MODEL3300(锂电充电无电源线款|无尘**)
参数内置锂电池,无需高压线缆;输出 AC2kV,气源 0~0.5MPa(洁净压缩空气 / 氮气),*大风量 200L/min;枪重 200g,钨放电针;充满连续工作 8h。
应用:晶圆边角颗粒清理、FOUP 内壁手动吹扫、**芯片返工除尘、机台内部模组维修除静电。
2.MODEL307R(气源式气动风枪|量产流水线返工)
外接高压控制器 + 气源,带高压异常断电保护;
应用:封装产线批量**器件清理、PCB 载具除尘。
3.MODEL3080S 笔型离子除电器(微型定点笔式|掩模 / 小片晶圆)
参数:AC100~240V,气源 0.05~0.4MPa,氮气 / 空气两用,喷嘴定点小范围离子喷射;
应用:光罩(Reticle)掩模除尘、小片晶圆、微型芯片单点除静电除尘。
四、ISX 系列软 X 射线无风除静电器(**前道 8/12 寸 Fab,无气流扰动**款)
ISX-224(主流单品)
参数软 X 射线电离原理、
零气流无风除静电;头体尺寸 30×50×96mm,功耗 11W,自然风冷,铝合金 SUS304 壳体,单头重 350g;离子平衡 ±3V 以内,无臭氧、无扬尘、无需定期清洁放电针(仅到期更换 X 射线灯管)。
核心应用(先进制程 EUV / 镀膜刚需)晶圆 PVD/CVD 镀膜腔体内部、光刻腔、8/12 寸晶圆真空腔体、超薄晶圆薄膜制程,
禁止吹风的精密腔体专用,避免气流扬起微颗粒造成良率**。
五、7000 系列静电在线监测仪(产线 ESD 管控)
参数:在线实时采集表面电位 0~±20kV,4~20mA 信号输出联动机台停机报警;
应用:FOUP 出入口、洁净室关键站点、离子棒后端静电实时监控,Fab 全厂 ESD 系统化管控。 六、选型速记(对接你主营 UNIHARD/USHIO 配套)
固化线(UNIHARD UV)出入口:453 风棒 + 1900 风机
晶圆 AOI 视觉工位:1900 风机
机台手动返工:3300 充电风枪
12 寸**镀膜 / 光刻:ISX-224 X 射线除静电器
掩模 / 小片晶圆:3080S 笔型除电器
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