简要描述：日本TAIKO大晃 BEH系列单级螺杆干式真空泵
Taiko（大晃）BEH 系列是单级螺杆干式真空泵，主打大抽速、高真空、低转速、无尘无油，用于半导体 / FPD / 光伏等高洁净工艺。 BEH：大抽速（7k–30k L/min）、高真空（0.08Pa），电子 / 半导体主力大晃機械工業株式会社

日本TAIKO大晃 BEH系列单级螺杆干式真空泵
日本TAIKO大晃 BEH系列单级螺杆干式真空泵

Taiko（大晃）BEH 系列是单级螺杆干式真空泵，主打大抽速、高真空、低转速、无尘无油，用于半导体 / FPD / 光伏等高洁净工艺

一、核心型号与规格（50/60Hz）

二、核心技术：Queen Bee Screw（蜂王螺杆）

• 单级非接触压缩：无油、无密封水、无污染。

• 超低转速：3000rpm（50Hz）/3600rpm（60Hz），磨损小、寿命长、噪音低

• 高极限真空：可达0.08Pa（≈10⁻³Torr），满足超高真空需求

• 强耐粉尘：可处理含微尘、雾气、少量颗粒气体，不易堵转。

三、结构与材质

• 泵体：铸铁（标准）/316 不锈钢（可选）

• 螺杆：特殊涂层（耐磨、耐腐蚀）

• 轴承 / 密封：进口高耐久件，免维护周期长

• 冷却方式：水冷（标准），水温 5–30°C，水压 0.2–0.4MPa

四、性能亮点

1. 无油无水：干式运行，0污染排放，适合高纯 / 洁净制程。

2. 大抽速 + 高真空：单级实现0.08Pa，替代多级泵，系统简化。

3. 低能耗：低速设计，比同级干泵省电 20–30%。

4. 易维护：单级结构，拆装简单，备件少，维护成本低。

5. 防爆适配：可定制防爆电机，满足化工 / 危险环境。

6. 五、典型应用

7. 半导体：刻蚀、CVD、PVD、离子注入

8. FPD：LCD/OLED 镀膜、溅射、真空贴合

9. 光伏：硅片拉晶、PECVD、真空干燥

• 化工：真空蒸馏、脱气、溶剂回收

• 医药：无菌干燥、冻干、蒸馏

六、型号命名（示例：BEH-1200）

• BEH：系列代号（B = 单级，E = 高真空，H = 大抽速）

• 1200：近似抽速（m³/h，60Hz）