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SIMCO思美高 AirForce IQ吹气式离子风棒

简要描述:SIMCO思美高 AirForce IQ吹气式离子风棒
SIMCO AirForce 吹气式离子风棒(半导体专用) AirForce 是 SIMCO 专为晶圆盒 FOUP、载具、治具、划片 / 切割工位、腔体内部设计的离子 + 吹气一体型离子棒,一边吹出洁净 CDA / 氮气,一边除静电,吹走微尘颗粒,是半导体后段非常常用的款式。

基础信息

产品型号

AF‑IQ‑1000

厂商性质

经销商

更新时间

2026-06-23

浏览次数

38
详细介绍
品牌SIMCO/思美高应用领域化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气

SIMCO思美高 AirForce IQ吹气式离子风棒
SIMCO思美高 AirForce IQ吹气式离子风棒

核心定位

  • 类型:AC 交流脉冲 / DC 脉冲 吹气式离子棒

  • 功能:除静电 + 吹扫除尘 二合一

  • 气源:CDA 洁净干燥空气 / 氮气(N₂)

  • 适用:晶圆 FOUP 清洗、载板、光学零件、划片设备、探针台、狭小腔体

二、全系列型号

1. AirForce Standard 标准吹气款(*常用)

AF‑400、AF‑600、AF‑800、AF‑1000、AF‑1200、AF‑1500、AF‑2000

2. AirForce IQ 智能监测款(带 PLC 报警)

AF‑IQ‑400、AF‑IQ‑600、AF‑IQ‑800、AF‑IQ‑1000
自带脏污检测、离子异常报警,对接 MES

3. AirForce UltraClean 超洁净款(晶圆 Fab)

AF‑UC‑XXX,密封结构、低粒子,适配 Class1‑100 洁净室

三、关键技术参数

  • 放电方式:AC 脉冲(标准)/ DC 脉冲(超洁净)

  • 离子平衡:±20V(IQ 版可做到 ±10V)

  • 除电速度:10kV→100V <1s@150mm(吹气加持更快)

  • 气源压力:0.1–0.4 MPa

  • 棒体材质:阳极氧化铝 / 不锈钢(UC 款)

  • 发射针:钨合金针;UC 款可选单晶硅针

  • 臭氧:低,无尘室合规

  • 工作距离:100–300mm

四、结构特点

  1. 侧面 / 底部均匀出气孔,气体沿棒长均匀吹出

  2. 气流包裹离子,远距离除静电,同时吹走粉尘颗粒

  3. 减少放电针积灰,维护周期大幅延长

  4. IQ 版带智能监测,可远程监控状态

五、配套电源

  • AirForce 电源控制器

  • 可与 Aerostat IQ / IONforce 共用部分控制器

六、半导体专用耗材

  • 钨放电针、单晶硅针(UC 款)

  • 高压线缆、绝缘件、O 型圈

  • 气嘴、进气接头、过滤滤芯


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