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| 品牌 | SIMCO/思美高 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
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SIMCO思美高 半导体主力Ionforce离子风棒
SIMCO思美高 半导体主力Ionforce离子风棒
超薄扁形棒体,尺寸 25×29mm,铝合金外壳,钨合金放电针,纤细低矮,适配机台狭小空间
IONforce‑300、400、500、600、800、1000、1200、1500、2000、2400
发射极:钨合金针,通用洁净室
无吹气 / 可选吹气(后缀‑A)
不锈钢棒身,钛 / 单晶硅发射针,全密封防尘设计,无重金属析出,光刻、探针台**
IONforce‑J‑300~2400
发射极:单晶硅 / 钛针,超低粒子、无重金属污染,ISO Class1 适用
密封性更强,耐 IPA 擦拭
ONforce‑A‑400、500、600、800、1000
接 CDA 洁净干燥空气 / 氮气,延长维护周期
PFC 控制器:基础款,直流 / 脉冲模式切换
visIONi 智能控制器:故障报警、针污染提醒、PLC/MES 信号输出,** Fab 标配
PFC:基础脉冲 / 直流切换
visIONi:故障报警、针污染提醒、远程开关、PLC 信号输出
放电模式:稳态 DC 直流 / Pulse 脉冲直流 可切换
供电控制器:PFC 控制器 /visIONi 智能控制器
离子平衡:<±30V(常规);<±10V(脉冲模式)
除电速度:10kV→100V,<10s@600mm;吹气版<5s
工作距离:50–1000mm,半导体推荐 100–300mm
臭氧含量:<0.05ppm,极低不污染晶圆
棒体尺寸:超薄 25×29mm,低矮空间可装
洁净等级:ISO 14644‑1 Class1‑4
工作温度:0–55℃
气源(A 版):CDA / 氮气,0.1–0.4MPa
发射针:钨针、单晶硅针、钛针(易损件)
高压线缆、绝缘套管、O 型圈
吹气气嘴、吹扫配件
陶瓷绝缘件、接地组件
PFC 控制器:AC90‑240V,基础供电,可切换直流 / 脉冲
visIONi 智能控制器:带监控报警,对接 MES/PLC,** Fab 标配
一拖多:单台控制器可带多根 IONforce 棒
钨针(Tungsten):耐用、性价比高 → 封测、后段制程
单晶硅针(Silicon):零重金属析出、超低微粒 → 晶圆前道、光刻、超洁净区