简要描述：进口SUNJE禅才 软 X 射线半导体静电消除
SUNJE 软 X 射线（Soft X‑Ray）系列是半导体高洁净制程的无臭氧、无颗粒、零维护静电消除方案，主打 ±0V 离子平衡与豁免辐射**，分为 SXN（标准头）、SXH（微型 / 高温头）、SXB（长棒模块化） 三大产品线。

进口SUNJE禅才 软 X 射线半导体静电消除
进口SUNJE禅才 软 X 射线半导体静电消除

• 电离原理：软 X 射线（4.9kV / 11kV / 14.9kV）光电离，无电晕、无臭氧、无粉尘、无需 CDA。

• 离子平衡：±0V（长期稳定），不反向充电，保护光罩 / 超薄晶圆。

• **合规：辐射豁免（＜5kV 免监管），CE/RoHS，可用于真空 / N₂ 环境。

• 维护：无电极、免清洁；灯管寿命约 7,500–20,000 小时，到期报警提示更换。

• 光束角：150° 广角，覆盖面积大。
  

  SXN 系列（标准型，小体积）

  代表型号：SXN‑10T / SXN‑15U / SXN‑10F

• 形态：小型照射头（约 290g）+ 控制器（SXC‑10T/102T/104T）。

• SXN‑10T（经典款）

• 管电压：4.9kV；功耗：≤23W。

• 安装：1/4‑20 螺纹，可固定 / 悬臂安装。

• 应用：光刻腔、Stage 下方、AMHS 搬运、探针台周边。

• SXN‑15U（高功率）

• 14.9kV，电离密度更高，除电更快。

• 适合：超薄晶圆、OLED 蒸镀、高静电风险工位。

• SXN‑10F（柔性臂）

• 500mm 可弯曲臂，定点精准除电，设备内部死角。

参数速览（对比）




系列	典型型号	管电压	尺寸 / 长度	重量	核心用途
SXN	SXN‑10T	4.9kV	60×60×120mm	290g	标准洁净室、小型设备
SXH	SXH‑05T	4.9kV	φ20×150mm	100g	微型空间、探针台
SXB	SXB‑05NR	4.9kV	300–2700mm（模块化）	0.5kg / 节	大面积、腔体内、湿法







半导体推荐场景

• 超敏感制程：光刻（光罩）、超薄晶圆、真空环境 → SXN‑15U / SXB‑05NR。

• 狭小 / 微型空间：探针台、切割 / 研磨、设备内部 → SXH‑05T / SXN‑10F。

• 大面积 / 宽幅：基板传送、腔体内壁、AMHS → SXB 长棒（多节）。

• 湿法制程：清洗 / 去胶 → SXB‑10W（防水）。