简要描述：日本进口ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵
ULVAC 爱发科 MS120A 螺杆式干式真空泵（日本进口） 一、基本信息 产地：日本进口 类型：无油螺杆干式泵（无油、洁净真空） 定位：中大型、高耐久、耐腐蚀、强排粉，适配工业级严苛工艺

日本进口ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵
日本进口ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵

一、基本信息

• 品牌型号：ULVAC（爱发科）MS120A 螺杆式干式真空泵

• 产地：日本进口

• 类型：无油螺杆干式泵（无油、洁净真空）

• 定位：中大型、高耐久、耐腐蚀、强排粉，适配工业级严苛工艺

二、核心技术参数（50Hz）

• 峰值抽速：115–120 m³/h

• 极限真空：≤0.6 Pa（无油，高洁净）

• 驱动功率：2.4 kW（节能设计）

• 噪音：61 dB(A)（工业低噪）

• 重量：139 kg

• 尺寸（宽 × 高 × 深）：约 460 × 380 × 720 mm

• 电源：三相 200–240V / 380–480V，50/60Hz

• 接口：进气 KF50（水平）/ VG50（垂直）；排气 KF40

• 冷却方式：水冷（流量＞4.0 L/min）

• 水汽耐受：1.5 kg/h（可处理水蒸气）

• 置换气体：0–50 sccm（可选）

三、核心优势（卖点）

1. ✅ 无油洁净 + 高耐腐蚀：全程无油，无返油、无污染；转子 / 气缸特殊涂层，耐酸碱 / 腐蚀性气体，寿命长。

2. ✅ 强排粉 + 防堵塞：爱发科独特螺杆型线，高排粉能力，适配含粉尘 / 颗粒工艺，不易堵转。

3. ✅ 全压力域连续运行：大气压→极限真空可连续工作，无需旁路 / 预抽，效率高。

4. ✅ 低能耗 + 低噪音：2.4kW 低功率，61dB (A) 静音，工业环境友好。

5. ✅ 免维护 + 低运行成本：无油、无密封件磨损，定期检查即可，长期成本低。

6. ✅ 稳定 + 工业级耐用：日本爱发科原厂，成熟可靠、故障率低，适配 24h 连续生产。

四、典型应用行业

• 🔧 半导体 / 电子：刻蚀、去胶、等离子清洗、CVD/PVD 前级泵。

• ⚗️ 化工 / 制药：腐蚀性气体排气、蒸馏、干燥、溶剂回收。

• 🔋 锂电池：电极干燥、脱泡、注液、真空烘烤（含粉尘 / 水汽）。

• 🔥 真空热处理：烧结炉、渗碳炉、退火炉排气。

• 🧊 食品 / 医疗：冷冻干燥、真空包装、**设备、无菌处理。

• 🏭 通用工业：大型真空腔排气、中央真空系统、高粉尘 / 高湿工况。