ULVAC爱发科MS120A、MS600A、MS1200A螺杆式干式真空泵，是日本爱发科（ULVAC）旗下核心工业级无油真空设备，采用双螺杆啮合旋转结构，属于干式无油真空泵，无需润滑油润滑，从根源上杜绝油污染，契合半导体、锂电池、制药等对洁净度要求的行业需求。该系列核心作用是直接抽取气体，实现系统高真空环境，无需搭配前级泵即可独立运行，凭借运行稳定、噪音低、耐腐蚀、抽速范围广的优势，广泛应用于半导体制造（CVD、PECVD、蚀刻工艺）、太阳能电池片生产、锂电池制造、化工蒸馏和干燥、制药冻干、食品真空处理等多种工业场景，其中MS120A为小型机型，MS600A为中型机型，MS1200A为大型机型，可根据工况流量需求灵活选型。

MS系列整体采用高效节能电机，适配洁净环境与腐蚀性工况，部分型号可定制防爆、防腐升级，满足危险工况与腐蚀气体处理需求，其螺杆与泵腔无接触摩擦，磨损小、使用寿命长，维护便捷，是现代工业洁净真空系统的核心配套设备，在光伏和锂电池制造领域的真空设备供应中占据重要位置。

二、全型号核心参数速查（50Hz 工频，标准工况）

型号	公称抽速（m³/h）	极限真空（Pa）	电机功率（kW）	冷却方式	*大连续进气压力（mbar）	适配工况类型
MS120A	120	≤1.0×10⁻²	2.2	风冷	1013	小型洁净工况、实验室配套
MS600A	600	≤5.0×10⁻³	7.5	风冷/水冷可选	1013	中型工业工况、锂电池脱气
MS1200A	1200	≤5.0×10⁻³	15	水冷	1013	大型工业工况、半导体制造

注：1. 60Hz工况下，抽速提升约20%，适配海外电压（208-230V/460V），电压 tolerance±10%；2. 全系列标配三相异步电机，可定制防爆电机（Exd II BT4），适配易燃易爆工况；3. 极限真空为常温、洁净空气工况下测试值，无需搭配前级泵，单独运行即可达到该真空度；4. MS600A水冷版本需确保冷却系统正常工作，避免泵体过热；5. 电机均配备过热、过载、缺相保护，符合IEC 34-11标准，运行**可靠

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