简要描述：日本ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵
LS 系列是爱发科主打高速抽气 + 超低功耗的无油螺杆干泵，全系列无油、无水、无轴封氮气，分为C 洁净型、L 轻工艺型两大版本，覆盖 120～1000m³/h 抽速，广泛用于半导体、镀膜、锂电、真空干燥等精密真空场景

一、核心型号与基础参数表

版本区分

1. C 型（LS*A-C，洁净工艺款）

• 搭载 ULVAC  ECO-SHOCK 节能技术，极限真空功耗低至 0.6kW 以内，省电 30%+

• 无需轴封吹扫氮气，运行成本更低

• 腔体标准洁净处理，无耐水汽 / 防腐涂层

• 适用：纯氮气、洁净空气排气，无水汽、无溶剂挥发场景

2. L 型（LS*A-L，轻工艺款）

• 泵体特殊防腐表面处理，标配氮气吹扫阀，密封件为 FFKM 氟橡胶

• 可抽微量水蒸气、低沸点有机溶剂、少量挥发物

• 适用：冻干、真空干燥、灰化、低腐蚀通用工业工况

• 不可处理强酸、高粉尘、卤素、强腐蚀气体

二、产品核心优势

1. 大气压段抽速强，缩短抽气节拍

   常压附近峰值抽速高，相比传统干泵抽真空时间缩短约 20%，提升产线效率。

2. 静音

   整机集成一体式消音器，满载运行噪音≤61dB (A)，可直接放置洁净车间、实验室。

3. 全干式无油结构

   泵腔无润滑油，杜绝油蒸气污染晶圆、光学膜层，满足半导体、光学高洁净要求。

4. 低运维成本

   C 型无需持续轴封氮气；无油无需定期换油；仅需定期维护冷却水、吹扫气过滤器，易损件少。

5. 标准智能化配置

   标配远程通讯接口、故障自检、防震底座；支持搭配机械增压泵 MBP 进一步提升大流量抽速。

6. 宽电压适配

   三相 200V（设备端）/400V（工业电网），50/60Hz 通用。

三、分行业应用场景

1）C 洁净型（半导体 / 光电）

• 半导体：PVD 溅射、蒸镀、晶圆 Loadlock、分子泵（TMP）前级泵、真空检漏

• 光学 / 显示：光学镀膜、OLED、真空贴合、薄膜沉积

• 锂电无尘制程：无水汽真空烘烤、无尘腔体预抽

2）L 轻工艺型（化工 / 制药 / 通用工业）

• 制药：真空冷冻干燥、药液低温脱溶

• 实验室：灰化炉、溶剂蒸发、样品脱水

• 通用工业：低水汽真空干燥、食品脱水、小型化工脱泡

四、基础使用条件

1. 冷却：水冷，最小流量≥4L/min

2. 吹扫气（仅 L 型）：干燥氮气，标准吹扫接口 KF40

3. 法兰：标准 KF 法兰，可适配 MBP 机械增压泵转接

4. 环境：洁净厂房、常温通风，禁止高粉尘、强酸腐蚀环境

五、同系列竞品对比（ULVAC 内部）

• LS 系列：节能优先，常压抽速快，噪音低，量产镀膜、半导体标准机型

• MS 系列：强防腐、耐大量溶剂水汽，腐蚀工艺专用

• LR/HR 系列：高氦抽速、超高真空配套前级泵，科研设备

六、选型建议

1. 洁净半导体、光学镀膜、无水汽工艺 → 选 C 型，省电、无持续氮气消耗

2. 冻干、真空干燥、含微量水汽 / 溶剂挥发 → 选 L 型，带吹扫与防腐涂层

3. 小型腔体、单台分子泵配套 → LS120A

4. 中型溅射、锂电批量烘烤 → LS300A / LS600A

5. 大型量产产线、多腔体 Loadlock → LS1200A，可搭配 MBP 增压泵扩容