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| 品牌 | FLUORO/日本福乐 |
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日本Fluoro福乐 C 系列真空晶圆镊子
日本Fluoro福乐 C 系列真空晶圆镊子
真空吸笔 / 真空晶圆镊子
型号:C001/C002/C003-X/Y 搭配 90/92/95/97/98/99-CP 吸头
材质:导电 PEEK、防静电氟塑料,无金属析出、不划伤晶圆
适配:2–12 寸整片晶圆、芯片 die、Mini/Micro LED 基板
阀门:常闭 NC / 常开 NO,负压 0~-80kPa 无级调压,内壁低微粒抛光
型号:F001/F002/F003-Z 搭配 01/06/15 规格吸头
吸头材质三选一:3F (PCTFE)、PK (PEEK)、VP (Vespel)
适配:显影液等腐蚀药液的晶圆转移
各式方形 / 圆形晶圆吸盘、Y 型晶片夹、细长芯片吸嘴、可弯曲加长杆
真空吸笔支架(立式收纳座)、快插真空连接软管
バルブ開閉方式によって違いがあります。以下で操作イメージをご覧ください。
イラストのボタン部分クリックで状態が切り替わります。吸引遮断ボタンはピンセット部分クリックでON・OFFが切り替わります。
002:ボタンを押して離脱、離して吸引
003:ボタンを押して離脱、離して吸引(吸引遮断ボタン付き)