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| 品牌 | Fujikin/富士金 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
|---|
Fujikin富士金FP-71系列自动球形波纹管阀
Fujikin富士金FP-71系列自动球形波纹管阀
波纹管全隔离密封：介质不接触气动执行组件，剧毒 / 腐蚀 / 自燃气体无外漏风险，真空保压性能优异
无油洁净等级：阀体电解抛光 SUS316L，可选 UP 超高纯电解抛光，满足半导体芯片制程超高纯要求
气动自动驱动：标准常闭 NC，可选常开 NO；标准驱动气压 0.4~0.7MPa
金属垫片 UJR 接头：全金属密封，无塑胶垫圈析出污染，适配高纯特种气体
小巧轻量化，设备机台密集管路集成安装；可选阀位反馈开关、UP 表面处理、背压规格
| 系列分类 | 完整标准型号 | 公称管径 (mm) | 对应英制管径 | 接头类型 | 额定 Cv 值 | 核心基础规格 | 典型适用场景 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 标准直通公头款（基础款） | FP-71-6.35#A | 6.35 | 1/4" | 两端 UJR 金属垫片公头 | 0.3 | 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 | 半导体机台 1/4" 高纯气体管路、实验室小口径气路 |
| 标准直通公头款（基础款） | FP-71-9.52#A | 9.52 | 3/8" | 两端 UJR 金属垫片公头 | 0.8 | 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 | 通用工业高纯气路、光伏设备 3/8" 工艺管路 |
| 标准直通公头款（基础款） | FP-71-12.7#A | 12.7 | 1/2" | 两端 UJR 金属垫片公头 | 1.4 | 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 | 主路大流量高纯气体切断、真空管路主阀 |
| 标准直通母头款 | FP-71-6.35-2#A | 6.35 | 1/4" | 两端 UJR 金属垫片母头 | 0.3 | 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 | 管路末端母头对接、设备面板安装阀 |
| 标准直通母头款 | FP-71-9.52-2#A | 9.52 | 3/8" | 两端 UJR 金属垫片母头 | 0.8 | 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 | 多管路汇流母头对接、洁净柜面板安装 |
| 标准直通母头款 | FP-71-12.7-2#A | 12.7 | 1/2" | 两端 UJR 金属垫片母头 | 1.4 | 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 | 大流量管路母头对接、真空腔体主进气阀 |
| 异径三通款 | FP-TB-71-6.35X6.35#A | 6.35×6.35 | 1/4"×1/4" | 三通 UJR 公头 | 0.3 | 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，双路同径 | 两路同径气体管路三通切换、吹扫旁路 |
| 异径三通款 | FP-TB-71-9.52X6.35#A | 9.52×6.35 | 3/8"×1/4" | 三通 UJR 公头 | 0.8 | 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，异径设计 | 主路 3/8"、旁路 1/4" 的异径三通切断 |
| 异径三通款 | FP-TB-71-12.7X9.52#A | 12.7×9.52 | 1/2"×3/8" | 三通 UJR 公头 | 1.4 | 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，异径设计 | 大流量主路 1/2"、旁路 3/8" 的三通切换 |
| 超高纯洁净升级款 | FP-ND-71-6.35UG | 6.35 | 1/4" | 两端 UJR 公头 | 0.3 | UG 超高纯洁净处理，低微粒析出，SUS316L | 半导体晶圆制造超高纯特种气体管路 |
| 超高纯洁净升级款 | FP-ND-71-9.52UG | 9.52 | 3/8" | 两端 UJR 公头 | 0.8 | UG 超高纯洁净处理，低微粒析出，SUS316L | 面板厂、锂电设备超高纯工艺气路 |
| 超高纯洁净升级款 | FP-ND-71-12.7UG | 12.7 | 1/2" | 两端 U |
| 参数项目 | 标准规格 |
|---|---|
| 阀体材质 | SUS316L 不锈钢，波纹管 SUS316L |
| 阀座密封 | 标准 PCTFE；可选 PI 聚酰亚胺耐高温阀座 |
| 最高工作压力 | 常温 40℃：1.0MPa；80℃：0.86MPa；100℃：0.84MPa |
| 使用温度区间 | -10℃ ~ +80℃（PCTFE 阀座） |
| 驱动方式 | 气动（空气驱动），标准常闭 N.C.，可选常开 N.O. |
| 驱动气源压力 | 0.4 ~ 0.7 MPa 洁净干燥空气 |
| 洁净等级 | 出厂禁油，可选 UP 超高纯抛光处理 |
| 连接方式 | UJR 金属垫片接头（公头 / 母头可选） |
| 流道 Cv 值 | 6.35(1/4")=0.3；9.52(3/8")=0.8；12.7(1/2")=1.4 |
| 适用介质 | 超高纯氮气 / 氩气、硅烷、氨气、氯气、特种腐蚀气体、真空管路 |
| 防护 | 波纹管零泄漏，无介质污染执行器 |
| 材料 | 采用不锈钢（SUS316L）制成 |
|---|---|
| 清洁 | wan全不含油 |
| 最大工作压力（兆帕） | 1 |
| 最高工作温度（℃） | 80 |
| zui低工作温度（℃） | -10 |
| 连接格式 | 金属垫片型 |
| 特征 | 特种材料气体，真空 |
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