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| 品牌 | Fujikin/富士金 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
|---|
Fujikin富士金FP-51系列自动球形波纹管阀
Fujikin富士金FP-51系列自动球形波纹管阀
| 参数项目 | 标准规格 |
|---|---|
| 阀体 / 波纹管材质 | SUS316L 不锈钢 |
| 标准阀座 | PCTFE（可选 PI 耐高温阀座） |
| 最高工作压力 | 常温 40℃：1.0MPa；80℃：0.86MPa |
| 使用温度 | -10℃ ~ +80℃ |
| 驱动方式 | 气动，标准常闭 NC，可选常开 NO |
| 驱动气源 | 0.4~0.7MPa 洁净干燥空气 |
| 连接方式 | 焊接式（无缝管插焊） |
| 洁净等级 | 出厂禁油，可选 UP 超高纯电解抛光 |
| 泄漏标准 | 内外漏率≤5×10⁻¹² Pa・m³/s |
| 耐久寿命 | ≥9000 次开关循环 |
| 完整型号 | 管径 OD | 英制管径 | Cv 流量系数 | 连接方式 |
|---|---|---|---|---|
| FP-51-6.35#A | 6.35mm | 1/4" | 0.3 | 两端插焊 |
| FP-51-9.52#A | 9.52mm | 3/8" | 0.8 | 两端插焊 |
| FP-51-12.7#A | 12.7mm | 1/2" | 1.4 | 两端插焊 |
| 后缀 | 功能说明 | 使用场景 |
|---|---|---|
| -UP | 阀体 UP 超高纯电解抛光，Ra≤0.2μm | 半导体刻蚀、沉积超高纯气体 |
| -PI | PI 聚酰亚胺阀座，耐温 150℃ | 高温工艺气路、热真空腔体 |
| -DFZ | 内置阀位反馈传感器 | PLC 自动化远程监控开关状态 |
| -NO | 气动执行器改为常开型（标准 NC 常闭） | 安全失效需保持通路工艺 |
| -BP | 背压专用密封结构 | 负压、高真空系统 |
| 对比项 | FP-51（本系列） | FP-71（UJR 接头款） |
|---|---|---|
| 管路连接 | 插焊焊接式，密封 | UJR 金属垫片快装接头，可拆装 |
| 机身尺寸 | 小型轻量化，机台紧凑布置 | 标准尺寸，管路后期维护拆装 |
| 拆装特性 | 焊接固定，不可重复拆卸 | 无需焊接，接头可反复拆装 |
| 适用场景 | 设备内置固定管路、真空腔体内置阀 | 供气柜、可维护工艺主管路 |
半导体晶圆设备机台内置焊接工艺气路（SiH₄、NF₃、Cl₂腐蚀气体）
真空镀膜、离子注入腔体内置切断阀，长期高真空保压
实验室特种气体焊接管路、锂电设备高纯氮气吹扫管线
面板、光伏沉积设备狭小腔体内置隔离阀
腐蚀性微量化工气体无泄漏切断控制
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