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| 品牌 | Fujikin/富士金 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
|---|
日本Fujikin富士金自动球形金属隔膜阀
日本Fujikin富士金自动球形金属隔膜阀
| 参数项目 | 规格 |
|---|---|
| 阀体 / 隔膜材质 | SUS316L 不锈钢 |
| 最高工作压力 | 1.0MPa（40℃） |
| 使用温度 | -10℃ ~ +80℃ |
| 驱动气源 | 0.4~0.6MPa 洁净干燥空气，标准 N.C. 常闭 |
| 连接方式 | UJR 金属垫片硬密封接头 |
| 洁净等级 | 出厂禁油脱脂，可选 UG 低析出处理 |
| 核心优势 | 极小死区、真空保压优异、耐腐蚀特种气体 |
基础压力温度同 71 系列；内置两段开度调节，可精准控制微小流量，抑制气流冲击造成晶圆微粒污染
Cv 线性可调，适配刻蚀 / 沉积机微量工艺气精密配比
| 参数项目 | 规格 |
|---|---|
| 最高耐压 | 20.5MPa（40℃，日本高压设备大臣认证） |
| 使用温度 | -10℃ ~ +40℃ |
| 其余材质、接头、驱动同 71 系列 | 高压硅烷、高压氢气、高压磷化氢专用 |
| 完整型号 | 管材 OD | 英制管径 | 接头类型 | Cv 值 |
|---|---|---|---|---|
| FPR-NSD-71-6.35#B | 6.35mm | 1/4" | 两端 UJR 公头 | 0.09 |
| FPR-NSD-71-9.52#B | 9.52mm | 3/8" | 两端 UJR 公头 | 0.22 |
| FPR-NSD-71-6.35-2#B | 6.35mm | 1/4" | 两端 UJR 母头 | 0.09 |
| FPR-NSD-71-9.52-2#B | 9.52mm | 3/8" | 两端 UJR 母头 | 0.22 |
| 完整型号 | 管材 OD | 接头 | 功能 |
|---|---|---|---|
| FPR-NSD-71SS2-6.35#B | 6.35mm | UJR 公头 | 两段开度微量流量调节 |
| FPR-NSD-71SS2-6.35-2#B | 6.35mm | UJR 母头 | 两段开度微量流量调节 |
| 完整型号 | 管材 OD | 接头 | 耐压等级 |
|---|---|---|---|
| FPR-NSD-721-6.35#B | 6.35mm | UJR 公头 | 20.5MPa 高压认证 |
| FPR-NSD-721-6.35-2#B | 6.35mm | UJR 母头 | 20.5MPa 高压认证 |
半导体晶圆刻蚀 / 沉积设备微量工艺气旁路
SiH₄、NF₃、Cl₂、WF₆等腐蚀自燃气体精准配比、小流量调节
高真空腔体进气微调阀，维持腔体稳定真空度，避免气流冲击颗粒
高压特种气体钢瓶柜切断（721 高压款）、高压氢气 / 氦气实验室管路
光伏、面板镀膜设备微量高纯氩气、氮气精密控制
锂电、生物医药高纯惰性气体洁净管路，无油无析出污染
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