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| 品牌 | Fujikin/富士金 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
|---|
Fujikin富士金高温高耐久直角金属隔膜阀
Fujikin富士金高温高耐久直角金属隔膜阀
FPR：90° 直角球形阀体
N：高耐久长寿命
H：高温耐受型
D：直动气动隔膜结构
高耐久隔膜：标准工况 3000 万次开关循环，远超普通 NSD 系列
宽温域：标准 - 10~80℃，高温规格可长期 150℃稳定工作
极小死区容积，低微粒析出，适配先进制程高纯气路
UJR 金属硬密封垫片接头，重复拆装无泄漏
全 SUS316L 阀体 + 金属隔膜，兼容 SiH₄、NF₃、Cl₂等腐蚀自燃气体
出厂 100% 氦检漏，内外泄漏≤5×10⁻¹² Pa・m³/s
| 参数项目 | 标准规格 |
|---|---|
| 阀体 / 隔膜材质 | SUS316L 不锈钢 |
| 最高工作压力 | 1.0 MPa（40℃常温） |
| 标准使用温度 | -10℃ ~ +80℃；高温款可至 150℃ |
| 驱动气源压力 | 0.34 ~ 0.69 MPa 洁净干燥空气 |
| 标准驱动形式 | N.C. 常闭（失气关闭），可选 N.O. 常开 |
| 连接方式 | UJR 金属垫片接头 |
| 洁净等级 | 脱脂禁油，可选 UP/UG 超洁净处理 |
| Cv 流量系数 | 6.35(1/4")=0.09；9.52(3/8")=0.22 |
| 开关耐久 | ≥3000 万次 |
| 泄漏标准 | 阀座、外漏均≤5×10⁻¹² Pa・m³/s |
| 完整型号 | 管材外径 OD | 英制管径 | Cv 值 | 接头形式 |
|---|---|---|---|---|
| FPR-NHD-71-6.35#A | 6.35mm | 1/4" | 0.09 | 两端 UJR 公头 |
| FPR-NHD-71-9.52#A | 9.52mm | 3/8" | 0.22 | 两端 UJR 公头 |
| 完整型号 | 管材外径 OD | 英制管径 | Cv 值 | 接头形式 |
|---|---|---|---|---|
| FPR-NHD-71-6.35-2#A | 6.35mm | 1/4" | 0.09 | 两端 UJR 母头 |
| FPR-NHD-71-9.52-2#A | 9.52mm | 3/8" | 0.22 | 两端 UJR 母头 |
半导体高温工艺设备
刻蚀、沉积机高温吹扫管路、高温特种气体隔离切断阀，长期 24h 连续运行
光伏、面板镀膜高温高纯氮气、氩气管路
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锂电、生物医药高纯惰性气体高温输送管路
实验室高温腐蚀特种气体供气柜、长期在线监测切断阀
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