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进口Fujikin富士金直通自动球形金属隔膜阀

简要描述:进口Fujikin富士金直通自动球形金属隔膜阀
FSR-SD-71 为直通式气动金属隔膜阀(FPR 为直角款、FSR 为直通款),MEGA-MINILA 高纯全禁油系列;金属隔膜wan全隔离介质与执行机构,极小死容积、低微粒析出,适配半导体特种腐蚀气体、高真空管路

基础信息

产品型号

FSR-SD-71-6.35#A

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-06

浏览次数

22
详细介绍
品牌Fujikin/富士金应用领域化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气

进口Fujikin富士金直通自动球形金属隔膜阀
进口Fujikin富士金直通自动球形金属隔膜阀

  • FSR:直通球形阀体(直线流道)

  • SD:标准直动金属隔膜、标准气动执行器

  • 71:UJR 金属垫片接头标准低压阀体(最高 1.0MPa)

  • 6.35:管材外径 mm;后缀 - 2 = 两端 UJR 母头;#A 出厂批次标识

通用标准参数

参数项目 标准规格
阀体 / 隔膜材质 SUS316L 不锈钢
阀座材质 PCTFE(可选 PI 高温阀座)
最高工作压力 1.0 MPa(40℃常温)
使用温度范围 -10℃ ~ +80℃
驱动气源 0.4~0.6MPa 洁净干燥空气,标准 N.C. 常闭
管路连接 UJR 金属硬密封垫片接头
洁净等级 出厂wan全脱脂禁油,可选 UP/UG 超洁净处理
Cv 流量系数 6.35mm(1/4")=0.1
泄漏标准 内外漏≤5×10⁻¹² Pa・m³/s,全检氦检漏
开关响应间隔 短响应,适合高频切换工艺气路
整机重量 约 320g

1. 两端 UJR 公头标准款


完整型号 管材 OD 英制管径 Cv 值 接头形式
FSR-SD-71-6.35#A 6.35mm 1/4" 0.1 两端 UJR 公头

2. 两端 UJR 母头(后缀 - 2)

完整型号 管材 OD 英制管径 Cv 值 接头形式
FSR-SD-71-6.35-2#A 6.35mm 1/4" 0.1 两端 UJR 母头
说明:FSR-SD-71 仅量产 6.35mm(1/4")单一口径,无 3/8" 大规格;如需 9.52mm 选用 FSR-ND-71 系列。

典型应用场景

  1. 半导体刻蚀 / 沉积设备微量工艺气直线管路

    SiH₄、NF₃、Cl₂、WF₆等腐蚀自燃气体小流量切断隔离

  2. 高真空腔体直进式进气阀,低微粒污染,稳定维持真空度

  3. 光伏、面板镀膜设备高纯氩气、氮气直线工艺管路

  4. 实验室特种气体供气柜直线支路切断阀

  5. 锂电、生物医药高纯惰性气体洁净输送管路

 

シリーズスペック詳細

材質 ステンレス鋼製(SUS316L)
クリーン度 wan全禁油
最高使用圧力(MPa) 1
最高使用温度(℃) 80
zui低使用温度(℃) -10
接続形式 メタルガスケット式
特徴 特殊材料ガス,真空

 

 

 

 

 
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