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| 品牌 | EBARA/荏原 | 供货周期 | 现货 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
华南一级代理EBARA荏原EV-X 系列干式真空泵
华南一级代理EBARA荏原EV-X 系列干式真空泵
这款用于中等负荷工艺的干式真空泵采用了荏原专有的节能技术，并采用了针对自动化工厂制造而优化的模块化设计，从而实现了进一步的小型化和节能。
宽范围温度控制拓展了适用工艺的范围。由于同一型号设备可覆盖多种工艺，因此优化了备用设备库存，减少了维护和培训工作量，并可灵活适应未来的工艺扩展。此外，针对每项工艺进行优化的温度控制可提高工艺容差，延长部件更换周期，从而降低设备总成本 (TCoO)。
适用应用实例：各种蚀刻和 CVD 工艺、灰化、离子注入、外延生长等。
| 型号 | 最大抽速 (L/min) | 极限真空 (Pa) | 待机功耗 (kW) | 供电 |
|---|---|---|---|---|
| EV-X30N | 3000 | 0.5 | 0.7 | 三相 200-220V 50/60Hz |
| EV-X100N | 10000 | 0.5 | 0.9 | 三相 200-220V 50/60Hz |
| EV-X200N | 20000 | 0.5 | 1.0 | 三相 200-220V 50/60Hz |
| EV-X300N | 30000 | 0.5 | 1.5 | 三相 200-220V 50/60Hz |
适用场景
半导体蚀刻、PE/HDP CVD、PVD 溅射、离子注入、等离子灰化、光伏镀膜、光学镀膜等中腐蚀、中等负荷真空工艺，全系空冷、紧凑型模块化设计。
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