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EBARA荏原EV-SA 型紧凑型风冷干式真空泵

简要描述:EBARA荏原EV-SA 型紧凑型风冷干式真空泵
紧凑型风冷干式真空泵,排气速度高达 5,000 L/m。
节能
小巧轻便
空冷式
低噪音
无油
不同频率(50/60Hz)下性能相同
符合CE认证/SEMI-S2/NRTL标准

基础信息

产品型号

EV-X300N

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-09

浏览次数

4
详细介绍
品牌EBARA/荏原供货周期现货
应用领域化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气

EBARA荏原EV-SA 型紧凑型风冷干式真空泵
EBARA荏原EV-SA 型紧凑型风冷干式真空泵

EV-SA系列是一款紧凑型风冷干式真空泵,无需冷却水。尽管体积小巧,安装灵活,但其排量却十分可观,最大排气速度可达5000升/分钟。该系列真空泵仅需电源供电,节能高效,运行噪音低,适用于生产车间、实验室和科研机构等多种环境。尤其适用于各种分析仪器和电子显微镜等对排气要求较高的应用。

系列核心特点

  1. 纯风冷,无需冷却水,安装灵活,实验室 / 小型设备通用

  2. 无油干泵,洁净无油污染,满足 SEMI S2 标准

  3. 直流电机,50/60Hz 全球统一抽速,自带休眠节能模式

  4. 内置通讯接口、故障报警记录、LCD 本地控制面板

  5. 低噪音、轻量化,适合 Loadlock、SEM、镀膜、检测设备

五、适用场景

半导体预抽腔、光学镀膜、电子显微镜、等离子清洗、小型蒸镀、实验室真空设备、光伏小型腔体、水汽含量偏高的轻负荷工艺。



规格







模型单元EV-SA20EV-SA30EV-SA50
电源额定电压 50/60Hz
单相200-240V / 三相200-240V单相200-240V / 三相200-240V单相200-240V / 三相200-240V
允许的电压波动
±10%±10%±10%
功率容量千伏安333
排气速度升/分钟1,67033005000
极限压力宾夕法尼亚州3.0/ 5.0*2.0/ 3.0*0.5/1.0*
连接端口直径进气口
西北40西北40NW50
排气口
西北40西北40西北40
达到压力时的近似功率值千瓦0.450.450.5
冷却方法
空冷式空冷式空冷式
近似质量公斤6590150
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