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| 品牌 | EBARA/荏原 | 供货周期 | 现货 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
EBARA荏原EV-SA 型紧凑型风冷干式真空泵
EBARA荏原EV-SA 型紧凑型风冷干式真空泵
EV-SA系列是一款紧凑型风冷干式真空泵,无需冷却水。尽管体积小巧,安装灵活,但其排量却十分可观,最大排气速度可达5000升/分钟。该系列真空泵仅需电源供电,节能高效,运行噪音低,适用于生产车间、实验室和科研机构等多种环境。尤其适用于各种分析仪器和电子显微镜等对排气要求较高的应用。
纯风冷,无需冷却水,安装灵活,实验室 / 小型设备通用
无油干泵,洁净无油污染,满足 SEMI S2 标准
直流电机,50/60Hz 全球统一抽速,自带休眠节能模式
内置通讯接口、故障报警记录、LCD 本地控制面板
低噪音、轻量化,适合 Loadlock、SEM、镀膜、检测设备
| 模型 | 单元 | EV-SA20 | EV-SA30 | EV-SA50 | |
| 电源 | 额定电压 50/60Hz | 单相200-240V / 三相200-240V | 单相200-240V / 三相200-240V | 单相200-240V / 三相200-240V | |
| 允许的电压波动 | ±10% | ±10% | ±10% | ||
| 功率容量 | 千伏安 | 3 | 3 | 3 | |
| 排气速度 | 升/分钟 | 1,670 | 3300 | 5000 | |
| 极限压力 | 宾夕法尼亚州 | 3.0/ 5.0* | 2.0/ 3.0* | 0.5/1.0* | |
| 连接端口直径 | 进气口 | 西北40 | 西北40 | NW50 | |
| 排气口 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | ||
| 达到压力时的近似功率值 | 千瓦 | 0.45 | 0.45 | 0.5 | |
| 冷却方法 | 空冷式 | 空冷式 | 空冷式 | ||
| 近似质量 | 公斤 | 65 | 90 | 150 | |
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