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| 品牌 | SEM/坂本电机 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
SEM/坂本电机无线分体双轴精密数字水平仪
SEM/坂本电机无线分体双轴精密数字水平仪
定位:基础高精度有线分体式,无数据存储,现场快速调平专用
连接方式:有线 2 米标准线缆,1 通道单传感器
核心精度:
测量范围:X/Y 轴 ±0.3°
分辨率:0.0002°(0.35μm/m)
系统精度:±0.001°(17.5μm/m)
零点重复性:≤±0.001°
硬件规格:
传感器:Φ50×19mm,SUS 不锈钢底座,重 70g,超薄可伸入晶圆腔体、狭小间隙
主机:4.3 寸触控彩屏,气泡可视化图形界面,直观对标传统气泡水平仪
供电:4 节 5 号干电池 / 专用 DC6V 适配器
核心功能:双轴实时数值 + 气泡圆图显示、合格区间判定、偏移清零、快速响应≤50ms
适用场景:半导体晶圆台、光刻机、精密机床、光学平台、检测治具现场调平
| 项目 | SELN-001B(基础有线) | SELN-011B(存储有线款) |
|---|---|---|
| 传输方式 | 分体有线 2 米线缆 | 分体有线 2 米线缆 |
| 传感器外观 | 圆形超薄 Φ50 不锈钢探头 | 同 SELN-001B 探头 |
| 测量精度 | ±0.001°,0.0002° 分辨率 | wan全相同 |
| 数据存储 | 无,仅实时读数 | 本机存储 + SD/USB 导出 |
| 电脑通讯 | 不支持 | 支持 USB 实时上传数据 |
| 界面 | 气泡图 + 双轴数值判定 | 基础界面 + 数据记录菜单 |
| 典型用途 | 机台现场快速调平 | 校准检测、数据存档追溯 |
SEL-001B:小型一体式双轴水平仪,机身集成屏幕,无分离探头
SEL-012B:一体式宽量程机型
SEL-101B/SEL-101BM:一体式高精度工业款
SEL-111BM:一体式海外出口版
双轴 X/Y 同步测量,一次摆放完成两个方向调平,缩短作业工时
屏幕模拟气泡圆形视图,老技工无需适应数字读数,上手零门槛
传感器超轻超薄,可放置在上下间隙极小的腔体、晶圆载台等敏感精密部位
消除传统气泡水平仪视角误差、人工读数偏差,测量一致性稳定
工作温度:-10℃ ~ +50℃,适配洁净室、工厂常温工况