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| 品牌 | ADVANTEC/日本东洋 | 供货周期 | 一周 |
|---|
ADVANTEC东洋 TCE全聚乙烯纳米滤芯
ADVANTEC东洋 TCE全聚乙烯纳米滤芯
全 PE 材质,无金属析出,适配高纯度光刻胶、显影液、剥离液、有机溶剂
纳米级精度:1/2/3/5/10nm,孔径分布极窄,拦截凝胶、微小颗粒
出厂超纯水多级冲洗,无表面活性剂残留
耐各类电子有机溶剂,低有机物溶出
折叠大通量,250mm 有效过滤面积 15000~15500cm²
外径:70mm 标准工业滤芯尺寸
标准长度:S=250mm(10 寸)、D=500mm(20 寸)
最高使用压差:0.25MPa(25℃)
最高使用温度:40℃
标准密封:EPR (EPDM),可选硅橡胶、NBR、氯丁橡胶
端盖接口:M、P、R 三种工业标准插口
| 基础型号 | 公称过滤精度 | 250mm 过滤面积 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| TCE-1X | 1 nm | 15000 cm² | 超高精终端过滤、优良制程光刻胶、极细凝胶去除 |
| TCE-0002 | 2 nm | 15000 cm² | gao端 ArF/KrF 光刻胶、gao端面板光阻终滤 |
| TCE-0003 | 3 nm | 15000 cm² | 主流半导体光刻胶标准终端过滤(市场用量最大) |
| TCE-0005 | 5 nm | 15000 cm² | 光阻预精滤、显影液、剥离液循环过滤 |
| TCE-001 | 10 nm | 15500 cm² | 粗预滤、保护后端 1~5nm 精密滤芯,高粘度光阻前置 |
TCE-精度-长度代码-接口-密封圈精度:1X / 0002 / 0003 / 0005 / 001
长度代码:
S = 250mm(10 英寸)
D = 500mm(20 英寸)
端盖接口代码(End Fixture)
M:3 插口标准 M 型
P:单开口 P 型
R:R 型卡口
密封圈材质代码
D:EPDM(标准标配)
S:Silicone 硅橡胶
B:NBR 丁腈橡胶
N:氯丁橡胶