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EV-SA30厂商性质
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日本进口EBARA荏原EVSA30罗茨干式真空泵 BARA 荏原 EV 系列 干式真空泵（半导体全制程・节能型罗茨干泵） 定位：EV 系列是荏原全场景覆盖的干式罗茨泵，分为 EV‑S（轻载）、EV‑M（重载）、EV‑SA/EV‑A（风冷小型）、EV‑L（大流量）四大子系列，主打超节能、紧凑占地、宽温控制、标准耐腐，适配半导体从 Load‑lock 到 CVD 的全制程。
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EV-M505SF厂商性质
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华南一级代理EBARA 荏原EVM505SF罗茨式干泵 EBARA 荏原 EV‑M 系列是半导体级水冷多级罗茨干泵，专为高负载、高温、含微量腐蚀气体的严苛制程设计。主打轻气体（氢气）大抽速、智能节能、强耐腐、长寿命，是 ALD、LPCVD、MOCVD 等制程的核心泵型。
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ESA-100WN厂商性质
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进口华南一级代理EBARA荏原多级罗茨干式真空泵 ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句话：氢气 / 轻气体*强干泵 + 大腔体超快粗抽；MO‑CVD 全球标配、面板 / 光伏
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ESA500W厂商性质
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日本进口EBARA荏原多级罗茨干式真空泵 ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句话：氢气 / 轻气体*强干泵 + 大腔体超快粗抽；MO‑CVD 全球标配、面板 / 光伏
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ESA200W厂商性质
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日本进口EBARA荏原多级罗茨干式真空泵 ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句话：氢气 / 轻气体*强干泵 + 大腔体超快粗抽；MO‑CVD 全球标配、面板 / 光伏
