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SDH6000 -
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2026-05-30 -
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KASHIYAMA樫山工业SD系列 立式螺杆干泵 SD 系列是樫山工业新一代大排量、高真空、强耐腐立式螺杆干泵，定位高于 SDE，主打12 寸晶圆 / 超大面板 / 优良制程，是当前半导体前道主力旗舰机型。 SDE：经典重型，排量 90–60N20（1,300–100,000 L/min） D：新一代旗舰，真空更高、更节能、更紧凑
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SDH6000厂商性质
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KASHIYAMA樫山工业SD系列 立式螺杆干泵 SD 系列是樫山工业新一代大排量、高真空、强耐腐立式螺杆干泵，定位高于 SDE，主打12 寸晶圆 / 超大面板 / 优良制程，是当前半导体前道主力旗舰机型。 SDE：经典重型，排量 90–60N20（1,300–100,000 L/min） D：新一代旗舰，真空更高、更节能、更紧凑
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SDT1800厂商性质
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KASHIYAMA樫山工业SD系列 立式螺杆干泵 SD 系列定位（与 SDE 区别） SD 系列是樫山工业新一代大排量、高真空、强耐腐立式螺杆干泵，定位高于 SDE，主打12 寸晶圆 / 超大面板 / 优良制程，是当前半导体前道主力旗舰机型。 SDE：经典重型，排量 90–60N20（1,300–100,000 L/min） SD：新一代旗舰，真空更高、更节能、更紧凑
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SDH3000厂商性质
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KASHIYAMA樫山工业SD系列立式螺杆干泵 SD 系列定位（与 SDE 区别） SD 系列是樫山工业新一代大排量、高真空、强耐腐立式螺杆干泵，定位高于 SDE，主打12 寸晶圆 / 超大面板 / 优良制程，是当前半导体前道主力旗舰机型。 SDE：经典重型，排量 90–60N20（1,300–100,000 L/min） SD：新一代旗舰，排量 10,000–100,000 L/min，真空更高
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SDX1800厂商性质
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KASHIYAMA樫山工业SD系列立式螺杆干泵 SD 系列定位（与 SDE 区别） SD 系列是樫山工业新一代大排量、高真空、强耐腐立式螺杆干泵，定位高于 SDE，主打12 寸晶圆 / 超大面板 / 优良制程，是当前半导体前道主力旗舰机型。 SDE：经典重型，排量 90–60N20（1,300–100,000 L/min） SD：新一代旗舰，排量 10,000–100,000 L/min，真空更高
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SDT1200厂商性质
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KASHIYAMA樫山工业SD系列立式螺杆干泵 SD 系列定位（与 SDE 区别） SD 系列是樫山工业新一代大排量、高真空、强耐腐立式螺杆干泵，定位高于 SDE，主打12 寸晶圆 / 超大面板 / 优良制程，是当前半导体前道主力旗舰机型。 SDE：经典重型，排量 90–60N20（1,300–100,000 L/min） SD：新一代旗舰，排量 10,000–100,000 L/min，