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产品型号
PRC-018A -
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2026-06-30 -
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产品描述
日本进口ULVAC爱发科 PRC机械增压罗茨泵 HR/UR/LR/LS = 前级主抽干泵（可单独从大气压抽真空） PRC = 增压罗茨泵（机械增压泵 MBP），不能单独使用，必须搭配 LS/LR/HR/UR/ 油旋片等前级泵串联，用来中段大幅提升中真空抽速，专门配套半导体、光学镀膜高洁净产线
产品型号
PRC-018A厂商性质
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2026-06-30浏览次数
11产品描述
日本进口ULVAC爱发科 PRC机械增压罗茨泵 HR/UR/LR/LS = 前级主抽干泵（可单独从大气压抽真空） PRC = 增压罗茨泵（机械增压泵 MBP），不能单独使用，必须搭配 LS/LR/HR/UR/ 油旋片等前级泵串联，用来中段大幅提升中真空抽速，专门配套半导体、光学镀膜高洁净产线
产品型号
PRC-012A厂商性质
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2026-06-30浏览次数
13产品描述
日本进口ULVAC爱发科 PRC机械增压罗茨泵 HR/UR/LR/LS = 前级主抽干泵（可单独从大气压抽真空） PRC = 增压罗茨泵（机械增压泵 MBP），不能单独使用，必须搭配 LS/LR/HR/UR/ 油旋片等前级泵串联，用来中段大幅提升中真空抽速，专门配套半导体、光学镀膜高洁净产线
产品型号
PRC-006A厂商性质
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16产品描述
日本进口ULVAC爱发科 PRC机械增压罗茨泵 HR/UR/LR/LS = 前级主抽干泵（可单独从大气压抽真空） PRC = 增压罗茨泵（机械增压泵 MBP），不能单独使用，必须搭配 LS/LR/HR/UR/ 油旋片等前级泵串联，用来中段大幅提升中真空抽速，专门配套半导体、光学镀膜高洁净产线
产品型号
PRC-003A厂商性质
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12产品描述
日本进口ULVAC爱发科 PRC机械增压罗茨泵 HR/UR/LR/LS = 前级主抽干泵（可单独从大气压抽真空） PRC = 增压罗茨泵（机械增压泵 MBP），不能单独使用，必须搭配 LS/LR/HR/UR/ 油旋片等前级泵串联，用来中段大幅提升中真空抽速，专门配套半导体、光学镀膜高洁净产线
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UR3601厂商性质
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日本进口ULVAC爱发科 UR多级罗茨干式真空泵 UR 是HR 系列升级顶配款，爱发科半导体最严苛腐蚀 / 高沉积工艺旗舰干泵，定位超高温全域均热、顶级防腐、重粉尘高卤素工况，对标 HR 但温控、防腐、防沉积能力全面拉满，专用于 ALD、重沉积 CVD、大产能干法刻蚀、长晶炉等高粉尘强腐蚀产线