北方华创发布12英寸先进气体团簇离子束刻蚀设备

日前，北方华创正式发布全新12英寸气体团簇离子束（GCIB）刻蚀设备Acme Glaion130。设备突破三大核心技术瓶颈，覆盖先进逻辑、存储、封装、硅光芯片及AR/VR应用场景。