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HR-600 -
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2026-06-30 -
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产品描述
进口ULVAC爱发科 HR多级罗茨干式真空泵 HR 是爱发科半导体腐蚀工艺专用干泵，多级罗茨无油结构，核心卖点全域高温均热化 + 强化防腐，专门适配 CVD、干法刻蚀、ALD 等会产生硅粉尘、卤素、升华副产物的严苛制程，区别于 LR 标准洁净型、LS 螺杆通用型、UR 超高温重型款
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日本ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 LS 系列是爱发科主打高速抽气 + 超低功耗的无油螺杆干泵，全系列无油、无水、无轴封氮气，分为C 洁净型、L 轻工艺型两大版本，覆盖 120～1000m³/h 抽速，广泛用于半导体、镀膜、锂电、真空干燥等精密真空场景