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UR1800 -
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2026-06-30 -
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日本进口ULVAC爱发科 UR多级罗茨干式真空泵 UR 是HR 系列升级顶配款，爱发科半导体最严苛腐蚀 / 高沉积工艺旗舰干泵，定位超高温全域均热、顶级防腐、重粉尘高卤素工况，对标 HR 但温控、防腐、防沉积能力全面拉满，专用于 ALD、重沉积 CVD、大产能干法刻蚀、长晶炉等高粉尘强腐蚀产线
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进口ULVAC爱发科 HR多级罗茨干式真空泵 HR 是爱发科半导体腐蚀工艺专用干泵，多级罗茨无油结构，核心卖点全域高温均热化 + 强化防腐，专门适配 CVD、干法刻蚀、ALD 等会产生硅粉尘、卤素、升华副产物的严苛制程，区别于 LR 标准洁净型、LS 螺杆通用型、UR 超高温重型款