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产品型号
SC-J-200-H -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-07-13 -
浏览次数
25
产品描述
SHINKO新光電気 ESC陶瓷静电吸盘8寸晶圆 新光電気工业(SHINKO)日本原厂陶瓷静电吸盘为半导体前道核心部件,覆盖 6/8/12 英寸晶圆(最大 φ300mm),自研氧化铝陶瓷体系,分库仑型 Coulomb、JR 迥斯热背型两大吸附原理,陶瓷烧结 - 电极埋入 - 粘接基座 - 精密加工全制程自产,配套刻蚀 Etch、灰化 Ashing、CVD/PVD、离子注入设备
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