简要描述：华南一级代理EBARA荏原湿式废气处理装置
EBARA 荏原 TND 型是半导体用燃烧式废气处理装置（Burn-type Scrubber），专门处理PFCs（全氟化物）、SiH₄、PH₃等难分解可燃废气，常与 G-WS 湿式洗涤塔配套组成 “燃烧 + 湿式" 综合处理系统

华南一级代理EBARA荏原湿式废气处理装置
华南一级代理EBARA荏原湿式废气处理装置

一、核心参数

• *大处理风量：1,000 L/min

• 进气接口：4 个（可同时接多台设备）

• 电源：3 相 AC200V，50/60Hz，1.8–3.5kW

• 尺寸 (W×D×H)：914×736×1,727 mm

• 公用工程：

• 工艺水：1–10 L/min

• 氮气：15–50 L/min

• 排气能力：

• 处**：1.5 m³/min

• 机箱排气：1.3 m³/min

二、处**体范围

• 适用：HCl、DCS、WF₆、NH₃、TiCl₄、BCl₃、ClF₃、SiF₄、Cl₂、F₂等。

• 不适用：H₂、SiH₄、PH₃、GeH₄、CH₄及 PFCs（CF₄、SF₆、NF₃）等。

三、主要特点

• 无堵塞设计：4 路加热进气，防止反应物凝结堵塞。

• 原位清洗：支持在线化学清洗，减少停机时间。

• pH 自动控制：自动加药调节洗涤液 pH 值，保证处理效率。

• 磁力驱动泵：2HP 磁力泵，无泄漏，耐腐蚀。

• 正压排放：**可靠，防止废气倒灌。

• **设计：通风**罩、旁路阀、24V 信号控制。

四、典型应用

• 半导体：Epi（外延）、CVD（化学气相沉积）、Etching（刻蚀）、Ashing（灰化）等制程废气处理。

• 光伏 / LED：类似半导体工艺的腐蚀性废气治理。

五、与 EBT 系列区别

• EBT 系列：涡轮分子泵（高真空获得设备）。

• G-WS1000：废气处理设备（末端治理），常与真空泵配套使用。