简要描述：爱发科 ULVAC 5轴数字磁悬浮涡轮分子泵
UTM 是爱发科**数字磁悬浮分子泵主力系列，采用5 轴数字控制磁悬浮轴承，区别于 YTP 陶瓷机械轴承，主打无油无摩擦、免维护、24h 连续量产、超高真空、任意方向安装，是半导体、光学镀膜、FPD 面板、**科研的**主泵

爱发科 ULVAC 5轴数字磁悬浮涡轮分子泵
爱发科 ULVAC 5轴数字磁悬浮涡轮分子泵

一、核心定位与三大子系列

1. UTM‑MS（外置控制器・紧凑型数字磁浮）

• 结构：泵体与控制器分离，体积小巧，转速 25%–100% 数字可调，镀镍防腐

• 轴承：5 轴数字磁悬浮，无机械接触、无磨损、零润滑油

• 冷却：风冷 / 水冷可选，适合中小腔体、实验室、小型量产线

2. UTM‑MI（内置控制器・通用量产主力）

• 结构：控制器集成泵体底部，接线极简、省空间、稳定性强，量产标配爆款

• 真空性能：烘烤后极限真空可达10⁻⁸Pa，无油洁净真空

• 通讯：支持 RS485/232，可接入 PLC 远程监控

3. UTM‑FH/FW（宽流量・耐腐蚀・**数字磁浮）

• FH：高压缩比，侧重抽氢气、轻气体，高背压耐受

• FW：大流量、抗粉尘、耐腐蚀，适配溅射、PECVD、半导体刻蚀等恶劣工艺

• 抽速覆盖：350–6300L/s，爱发科**数字磁浮系列

二、核心技术优势（数字磁悬浮对比陶瓷轴承 YTP）

1. 数字 5 轴磁悬浮：高速精准控轴，振动极低、噪音≤60dB

2. 免维护长寿命：无机械磨损，寿命 3–5 年，可 24h 连续不间断工作

3. 安装自由：水平 / 垂直 / 倒置任意安装，设备设计灵活

4. 洁净度：无油、无碳粉污染，适配光学、半导体严苛工艺

5. 数字调速：精准控压，适配镀膜、溅射的工艺压力调节

6. 短板：价格高，需搭配前级泵（干式 / 油式），抽水能力弱，必须搭配 CRYO‑T 冷阱除水汽

三、主流型号参数（氮气抽速 L/s，法兰，20℃）

型号法兰氮气抽速前级泵推荐类型适用场景

UTM300A‑MSISO10030040–100L/min外置紧凑型小型腔体、实验室

UTM400A‑MSISO10040060–150L/min外置紧凑型小型镀膜、科研

UTM1200A‑MIISO1601030≥600L/min内置通用款标准光学镀膜、磁控溅射UTM1600A‑MIISO2001400≥1000L/min内置通用款中型量产、精密镀膜UTM2300A‑MIISO2502100≥1500L/min内置通用款大型腔体、半导体

UTM3400A‑MIISO3003200≥2000L/min内置通用款FPD 面板、超大真空舱

UTM‑350FHISO10035080–150L/min耐腐蚀**半导体刻蚀、PECVD

四、典型应用场景

1. 光学真空镀膜、磁控溅射、真空蒸镀（UTM+CRYO‑T 冷阱黄金组合）

2. 半导体晶圆工艺、PECVD、刻蚀、离子注入

3. FPD 面板、光伏、锂电真空产线

4. 科研：超高真空腔体、质谱、表面分析、航天模拟

5. 精密检漏、真空热处理

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