简要描述：日本樫山工业Kashiyama MU无油干式真空泵
樫山工业（Kashiyama）MU 系列是中小型无油干式真空泵，主打超紧凑、超低功耗、高洁净，定位比 SD 系列更轻量节能，适合半导体、镀膜、分析设备等中小流量高真空场景。

日本樫山工业Kashiyama MU无油干式真空泵
日本樫山工业Kashiyama MU无油干式真空泵

系列构成（三大子系列）

• MU‑X 系列（标准经济型）：常规洁净工艺，性价比高。

• MU‑P 系列（高性能工艺型）：强化密封与耐腐蚀性，适配轻度腐蚀气体。

• MU‑H 系列（高耐久型）：加强冷却与材质，适合连续 24h 运行、高温 / 水汽工况。

• MUP‑E 新型（2025 推出）：更节能、抽速更大，替代老款 MU‑P。

核心参数总览

1. MU‑X 系列（标准型）

2. MU‑P/H 系列（工艺型）

3. MUP‑E / MUH 新型

核心特点

1. **紧凑 + 轻量化：MU100X 仅 35kg，体积比同规格 SD 小约 40%，桌面级安装。

2. 超低功耗：MU100X 仅 0.35kW，比传统泵省电 50%–70%，适合长时间运行。

3. 高洁净无油：全程无油，0污染，适配晶圆、镀膜、分析仪器等高敏感工艺。

4. 高耐久设计：

• 转子 / 腔体不锈钢 + 陶瓷涂层，耐弱酸、轻微粉尘。

• 内置加热 + 氮气吹扫（0–60 SLM），防冷凝、防腐蚀。

5. 低噪音低振动：≤52dB，适合实验室、洁净室、精密设备配套。

6. 智能控制：标配 Modbus，可选变频、远程监控、自诊断。

选型建议

• 预算有限、常规洁净、小流量 → MU‑X（如实验室、镀膜机）。

• 中等流量、轻度腐蚀、需稳定 → MU‑P（如化工蒸馏、真空包装）。

• 连续 24h、高温高湿、水汽多 → MU‑H（如热处理炉、干燥设备）。

• 新项目、追求节能高效 → MUP‑E 新型。

六、MU 与 SD 系列核心区别

• MU：中小型、超紧凑、超低功耗，抽速 1,660–50,000 L/min，适合中小流量高真空。

• SD：中大型、高抽速、高耐久，抽速 10,000–100,000 L/min，适合大流量工业制程。