简要描述：日本樫山工业Kashiyama MU无油干式真空泵
系列定位 MU‑P/H是樫山工业的中型工艺级无油干式真空泵： MU‑P：标准工艺型，轻度腐蚀、常规 24h 连续运行。 MU‑H：高耐久强化型，高温、高水汽、中度腐蚀、频繁清洗工况。

日本樫山工业Kashiyama MU无油干式真空泵

日本樫山工业Kashiyama MU无油干式真空泵

二、核心参数

三、结构与关键特性

1. 材质与密封

• 腔体 / 转子：不锈钢 + 陶瓷涂层，耐弱酸、轻微粉尘。

• 密封：氟橡胶 + PTFE 复合，兼容多数有机溶剂与酸碱气体。

2. 高耐久设计（MU‑H）

• 加强冷却水道 +内置加热防冷凝。

• 标配热氮气吹扫（0–60 SLM），防止酸性气体凝结腐蚀。

• 轴承 / 齿轮强化，连续 24h 运行寿命≥40,000h。

3. 洁净与低能耗

• 全程无油，高洁净（无油污染），适配半导体 / 镀膜 / 分析仪器。

• 比同规格 SD 系列省电 30%–50%，噪音≤55dB。

4. 智能控制

• 标配Modbus‑RTU，可选变频、远程监控、自诊断、故障报警。

五、典型应用场景

• 半导体：刻蚀、沉积、离子注入、晶圆清洗。

• 镀膜 / 光学：真空溅射、蒸发、PECVD、OLED 制程。

• 化工 / 制药：蒸馏、干燥、结晶、溶剂回收（轻度腐蚀）。

• 热处理：真空退火、淬火、钎焊炉（高温 / 水汽）。

• 分析仪器：质谱、SEM、XRD、真空腔体配套。

六、选型要点

• 常规工况、轻度腐蚀 → MU‑P（性价比高）。

• 高温、高湿、连续 24h、频繁清洗 → MU‑H（强化耐久）。

• 强腐蚀（HCl/HF/Cl₂） → 选SDT/SDH或定制防腐款。

• 预算紧、小流量洁净 → MU‑X（轻量经济型）。

七、与 MU‑X/SD 系列区别

• MU‑X：轻量经济型，抽速 1,660–10,000 L/min，价格低 20%–30%，适合普通洁净工艺。

• MU‑P/H：工艺耐久型，抽速 1,660–50,000 L/min，强化密封 / 冷却 / 吹扫，适配腐蚀 / 高温 / 连续运行。

• SD 系列：大流量工业型，抽速 10,000–100,000 L/min，更高真空、更大抽速、更重，适合大流量制程。