简要描述：日本樫山工业Kashiyama MU节能型干式泵
樫山 MU‑GX 系列（节能型干式泵） 定位：MU‑GX 是 MU‑X 系列的升级款，主打超节能、小型化、水冷、高真空，面向半导体 / 镀膜 / 分析仪器等高洁净、高精度工艺。

日本樫山工业Kashiyama MU节能型干式泵
日本樫山工业Kashiyama MU节能型干式泵

核心参数（2026 新）

• 电源：三相 200V/400V（50/60Hz）

• 冷却：水冷（0.2–0.5MPa），噪音 ≤52dB

• 接口：进气 NW40/NW80，排气 NW40

二、关键特点（对比 MU‑P/H/ MU‑X）

1. 超节能（*大优势）

• 比 MU‑P/H 省电 40%–50%；比 MU‑X 再省 10%–15%。

• 低负载变频，待机功耗 <0.1kW。

2. 小型化 + 水冷

• 体积比 MU‑P/H 小 30%–40%，重量轻 20%–30%。

• 水冷散热，无油、低粉尘、低振动，适合洁净室。

3. 高洁净 + 高真空

• 腔体 / 转子：不锈钢 + 陶瓷涂层，无油污染。

• 极限真空 0.5Pa（高款），满足半导体 / 镀膜高要求。

4. 智能控制

• 标配 Modbus‑RTU，可选变频、远程监控、自诊断。

• 支持 N₂ 吹扫（0–30 SLM），防腐蚀、防结露。

四、适用场景

• 半导体：刻蚀、沉积、离子注入、晶圆清洗（高洁净）。

• 镀膜 / 光学：溅射、蒸发、PECVD、OLED（高真空 + 低振动）。

• 分析仪器：质谱、SEM、XRD（低噪音 + 高稳定）。

• 精密化工：蒸馏、干燥、结晶（无油污染 + 节能）。

五、选型建议

• 预算紧、常规洁净 → MU‑X（性价比高）。

• 高洁净、高精度、长期运行 → MU‑GX（节能 + 小型化）。

• 腐蚀 / 高温 / 高水汽 → MU‑H（强化耐久）。

• 大流量、重工况 → SD 系列。