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| 品牌 | TAIKO/大晃 | 供货周期 | 两周 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
进口TAIKO大晃RMC系列罗茨机械增压泵
进口TAIKO大晃RMC系列罗茨机械增压泵
全称：Roots Mechanical Booster = 罗茨机械增压器（不能单独用，必须配大晃 TDP/BEH 干泵做前级）
结构：罗茨转子（增压段）+ 螺杆干泵（前级段） 直联集成，PLC 联动控制
作用：大幅提升抽速 + 提高极限真空 + 降低前级泵功耗，适合中高真空制程
| 型号 | 抽速 L/min (50/60Hz) | 极限真空 Pa | 电机功率 kW（罗茨 + 干泵） | 重量 kg | 适配前级 |
|---|---|---|---|---|---|
| RMC-3500 | 3,500/4,200 | ≤0.1 | 5.5+2.2 | 550 | TDP-3000 |
| RMC-6000 | 6,000/7,200 | ≤0.1 | 7.5+3.7 | 850 | TDP-6000/BEH-7000 |
| RMC-10000 | 10,000/12,000 | ≤0.1 | 15+5.5 | 1,300 | BEH-12000 |
| RMC-20000 | 20,000/24,000 | ≤0.1 | 30+11 | 2,100 | BEH-24000/30000 |
转子：大晃蜂后螺杆（Queen Bee Screw），非接触、低磨损、耐粉尘
转速：罗茨 1500/1800 rpm + 螺杆 3000/3600 rpm，低速低噪
材质：球墨铸铁 + 耐腐蚀涂层，可选 316 不锈钢腔体
控制：智能 PLC + 触摸屏，联动启停、过载保护、氮气吹扫接口
| 系列 | 类型 | 抽速 L/min | 极限真空 Pa | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|
| TDP | 单级螺杆干泵 | 3,000～12,000 | 0.13 | 通用、中真空、低成本 |
| RMC | 罗茨 + 螺杆增压机组 | 3,500～20,000 | 0.1 | 中高真空、大流量、前端增压 |
| BEH | 螺杆 + 罗茨集成干泵 | 7,000～30,000 | 0.08 | **半导体、FPD、大流量高真空 |
| TRIC | 大型螺杆 + 罗茨机组 | 30,000～60,000 | 0.08 | 超大腔体、半导体 / 光伏整线 |
刻蚀（Etching）：RMC-10000/20000 + BEH，快速抽气 + 高真空，减少腔室等待时间
CVD/PVD 薄膜沉积：RMC-6000/10000 + TDP/BEH，稳定 0.1 Pa 级真空，膜层均匀
离子注入：RMC-20000 + BEH-30000，大流量排气 + 低粉尘残留
晶圆脱气 / 退火：RMC-3500/6000 + TDP，高效脱气 + 低能耗
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