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产品分类
| 品牌 | Fujikin/富士金 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
|---|
Fujikin富士金FP-91系列自动球形波纹管阀
Fujikin富士金FP-91系列自动球形波纹管阀
核心优势
F900 双卡套压缩接头,替代 UJR / 焊接,现场拆装无需专用工具,重复拆装不漏气
SUS316L 一体阀体 + 金属波纹管,内外漏率≤5×10⁻¹² Pa・m³/s,适配硅烷、氯气、NF₃等危险气体
标准常闭 NC,可选常开 NO;驱动气源 0.4~0.7MPa 洁净干燥空气
全规格出厂禁油,可选 UP 超高纯电解抛光、ND 低微粒洁净升级
最大通径 19.05mm,Cv 最高 2.8,满足大流量高纯气体主切断需求
| 参数项 | 标准规格 |
|---|---|
| 阀体 / 波纹管材质 | SUS316L 不锈钢 |
| 标准阀座 | PCTFE(可选 PI 耐高温阀座,耐温 150℃) |
| 常温最高耐压 | 1.0MPa(40℃);80℃=0.86MPa;100℃=0.84MPa |
| 使用温度区间 | -10℃ ~ +80℃(PCTFE 阀座) |
| 驱动方式 | 气动,标准 N.C. 常闭,可选 N.O. 常开 |
| 驱动气源压力 | 0.4~0.7MPa 干燥洁净空气 |
| 连接结构 | F900 双卡套压缩环接头(两端) |
| 洁净等级 | 出厂无油脱脂,可选 UP/ND 超洁净处理 |
| 开关耐久 | ≥9000 次循环 |
| 泄漏标准 | 阀座 / 外漏均≤5×10⁻¹² Pa・m³/s |
| 完整型号 | 管材外径 OD | 英制管径 | Cv 流量系数 | 接头类型 |
|---|---|---|---|---|
| FP-91-6.35#A | 6.35mm | 1/4" | 0.3 | 两端 F900 双卡套公头 |
| FP-91-9.52#A | 9.52mm | 3/8" | 0.8 | 两端 F900 双卡套公头 |
| FP-91-12.7#A | 12.7mm | 1/2" | 1.4 | 两端 F900 双卡套公头 |
| FP-91-19.05#A | 19.05mm | 3/4" | 2.8 | 两端 F900 双卡套公头 |
| 系列 | 连接方式 | 拆装特性 | 尺寸定位 | 主流应用 |
|---|---|---|---|---|
| FP-51 | 插焊焊接式 | 固定、不可拆卸 | 微型内置阀,设备腔体内部 | 机台内置固定焊接管路 |
| FP-71 | UJR 金属垫片接头 | 可拆装,金属硬密封 | 标准尺寸,中小流量支路 | 供气柜、可维护工艺支路 |
| FP-91 | F900 双卡套压缩接头 | 现场快速拆装、反复使用 | 大流量主管路,最大 3/4" 管径 | 半导体主气路、大流量高纯气体总管 |
半导体晶圆设备主工艺气体总管(大流量 N₂、Ar、SiH₄、NF₃输送切断)
光伏、面板沉积设备大口径高纯气路自动切断阀
实验室特种气体供气柜、防爆有毒气体管路
大型真空镀膜机主进气隔离阀,长期高真空保压
锂电制造设备高纯氮气吹扫大流量主管路