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Fujikin富士金FP-91系列自动球形波纹管阀

简要描述:Fujikin富士金FP-91系列自动球形波纹管阀
FP-91 为F900 双卡套压缩环接头气动直通球形波纹管阀,属于 Fine Pure 全禁油超高纯系列;金属波纹管隔离介质与气动执行机构,氦检零泄漏,适配半导体、真空、腐蚀 / 自燃特种气体;机身尺寸大于 FP-51/FP-71,支持大管径 19.05mm 大流量管路,双卡套接头拆装便捷、密封稳定,机台主管路主流选用型号

基础信息

产品型号

FP-91-12.7#A

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-06

浏览次数

14
详细介绍
品牌Fujikin/富士金应用领域化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气

Fujikin富士金FP-91系列自动球形波纹管阀
Fujikin富士金FP-91系列自动球形波纹管阀
核心优势

  1. F900 双卡套压缩接头,替代 UJR / 焊接,现场拆装无需专用工具,重复拆装不漏气

  2. SUS316L 一体阀体 + 金属波纹管,内外漏率≤5×10⁻¹² Pa・m³/s,适配硅烷、氯气、NF₃等危险气体

  3. 标准常闭 NC,可选常开 NO;驱动气源 0.4~0.7MPa 洁净干燥空气

  4. 全规格出厂禁油,可选 UP 超高纯电解抛光、ND 低微粒洁净升级

  5. 最大通径 19.05mm,Cv 最高 2.8,满足大流量高纯气体主切断需求

二、通用基础参数

参数项标准规格
阀体 / 波纹管材质SUS316L 不锈钢
标准阀座PCTFE(可选 PI 耐高温阀座,耐温 150℃)
常温最高耐压1.0MPa(40℃);80℃=0.86MPa;100℃=0.84MPa
使用温度区间-10℃ ~ +80℃(PCTFE 阀座)
驱动方式气动,标准 N.C. 常闭,可选 N.O. 常开
驱动气源压力0.4~0.7MPa 干燥洁净空气
连接结构F900 双卡套压缩环接头(两端)
洁净等级出厂无油脱脂,可选 UP/ND 超洁净处理
开关耐久≥9000 次循环
泄漏标准阀座 / 外漏均≤5×10⁻¹² Pa・m³/s

三、FP-91 标准直通型号清单

完整型号管材外径 OD英制管径Cv 流量系数接头类型
FP-91-6.35#A6.35mm1/4"0.3两端 F900 双卡套公头
FP-91-9.52#A9.52mm3/8"0.8两端 F900 双卡套公头
FP-91-12.7#A12.7mm1/2"1.4两端 F900 双卡套公头
FP-91-19.05#A19.05mm3/4"2.8两端 F900 双卡套公头

FP-51/FP-71/FP-91 三系列核心对比

系列连接方式拆装特性尺寸定位主流应用
FP-51插焊焊接式固定、不可拆卸微型内置阀,设备腔体内部机台内置固定焊接管路
FP-71UJR 金属垫片接头可拆装,金属硬密封标准尺寸,中小流量支路供气柜、可维护工艺支路
FP-91F900 双卡套压缩接头现场快速拆装、反复使用大流量主管路,最大 3/4" 管径半导体主气路、大流量高纯气体总管

七、典型应用场景

  1. 半导体晶圆设备主工艺气体总管(大流量 N₂、Ar、SiH₄、NF₃输送切断)

  2. 光伏、面板沉积设备大口径高纯气路自动切断阀

  3. 实验室特种气体供气柜、防爆有毒气体管路

  4. 大型真空镀膜机主进气隔离阀,长期高真空保压

  5. 锂电制造设备高纯氮气吹扫大流量主管路




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