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产品型号
CH-AlN-200-NM-MH3 -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-07-13 -
浏览次数
25
产品描述
NGK日本碍子半导体陶瓷加热器 NGK 加热器分半导体晶圆专用 AlN 氮化铝加热台(CH-AlN 系列,晶圆载台)、工业远红外陶瓷加热器、微型精密陶瓷加热芯三大产品线,半导体设备行业核心使用CH-AlN 纯加热载台,与 ESC-JR 静电吸盘共用一体共烧 AlN 工艺,二者区分:CH-AlN无静电吸附电极,仅温控;ESC-JR 内置吸附电极 = 加热 + 静电吸盘二合一
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