简要描述：BARA荏原燃烧式 湿式洗涤的废气处理装置
EBARA 荏原 G5 系列是燃烧式 + 湿式洗涤的废气处理装置，核心用于半导体 / 面板 / 光伏行业，高效处理PFCs（全氟化物）、酸性及可燃性废气

BARA荏原燃烧式 湿式洗涤的废气处理装置
BARA荏原燃烧式 湿式洗涤的废气处理装置

一、核心定位与用途

• 设备类型：燃烧 + 湿式洗涤式废气处理系统（POU 末端处理）。

• 适用行业：半导体、LCD、LED、光伏电池、化学品制造、实验室等。

• 处理对象：

• 可燃气体（如 TEOS、硅烷类）

• 温室气体（PFCs：CF₄、C₂F₆等）

• 酸性 / 碱性 / 活性工艺废气

二、主要型号与规格（流量分级）

• G5-350：*大进气量 350 L/min，4 个进气口（NW40）

• G5-500：*大进气量 500 L/min，4 个进气口

• G5-600：*大进气量 600 L/min，6 个进气口（大流量版）

• G5-1200：*大进气量 1200 L/min，6 个进气口（超大流量版）

• 型号后缀：

• A1~A6：标准非防爆型

• P1~P6：防爆 / 特殊配置版

三、关键技术特点

1. 高效处理 PFCs：专属燃烧分解技术，对 CF₄、C₂F₆等难分解 PFCs 去除率高。

2. 一炉多气混处理：可燃、酸性、PFCs 可同时处理，减少设备数量。

3. 节能按需燃烧：

• 快速启动燃烧器，待机低耗

• 燃料（天然气 / 丙烷）随废气流量自动调节，降低运行成本

4. 自动副产物**：

• 燃烧区自动刮板 + 粉体自动排出

• 湿式段流水壁结构，减少维护频次，延长连续运行时间

5. **与合规：

• 多重**联锁（熄火、超温、压力异常）

• 符合CE/SEMI-S2/NRTL标准

四、典型技术参数（以 G5-350 为例）

• 尺寸（宽 × 深 × 高）：约 1200×650×1900 mm

• 电源：208/400 VAC，50/60 Hz，约 1.7 kVA

• 燃料：天然气（约 14 slm）或丙烷（约 6 slm）

• 水耗：工艺水约 10 L/min，节水型约 3 L/min

五、优缺点总结

• 优点：PFCs 处理效率高、多气混处理、节能运行、维护自动化、**合规、长寿命。

• 局限：需燃料（天然气 / 丙烷）、有一定水耗、初期投资较高。

六、应用场景建议

• 半导体刻蚀 / 沉积工艺尾气（含 PFCs、硅烷、TEOS）

• 光伏 / 面板行业酸性 + 可燃混合废气

• 实验室小批量高危害废气处理