简要描述：华南一级代理EBARA荏原 废气处理设备
EBARA 荏原G6-E 系列是在 G5 基础上强化的大流量燃烧 + 湿式洗涤废气处理装置，主打半导体外延（Epitaxy）高浓度 H₂/Cl₂混合废气，兼顾 PFCs 与常规酸性 / 可燃废气

华南一级代理EBARA荏原 废气处理设备
华南一级代理EBARA荏原 废气处理设备

一、核心定位与用途

• 设备类型：燃烧分解 + 湿式洗涤（POU 末端处理）。

• 核心场景：半导体外延生长设备（MOCVD/MBE）、大流量氢气工艺、含氯刻蚀 / 沉积、光伏 / 面板高负载废气。

• 处理对象：

• 超高流量H₂（*大 200 L/min）、Cl₂、HCl

• PFCs（CF₄/C₂F₆等）、硅烷（SiH₄）、TEOS、磷烷（PH₃）、砷烷（AsH₃）、NH₃等。

二、型号与规格（标准 / 防爆）

• 主流型号：

• G6‑E A1～A4：标准非防爆型，燃料 = 城市燃气。

• G6‑E P1～P4：防爆 / 特殊工况，燃料 = 丙烷。

• 核心参数（单台）：

• *大进气量：400 L/min（约为 G5‑350 的 1.1 倍）。

• *大 H₂处理量：200 L/min（G5 系列无此高规格）。

• 进气口：6×NW40（兼容大流量总管）。

• 尺寸（宽 × 深 × 高）：1200×650×1900 mm（同 G5，紧凑型）。

• 电源：208/400 VAC，50/60 Hz，约 2.5 kVA（较 G5 略高）。

• 燃料消耗：天然气约 22 slm / 丙烷约 9 slm（随废气自动调节）。

• 水耗：工艺水约 12 L/min（节水型约 4 L/min）。

三、关键技术升级（对比 G5）

1. 大流量 H₂专项优化：专属燃烧腔与混流设计，200 L/min H₂稳定处理，防回火 / 闪爆，适配外延高氢工况。

2. 高效 PFCs 分解：燃烧温度场优化，CF₄去除率≥95%，C₂F₆≥98%，兼顾温室气体减排。

3. 副产物强处理：

• 燃烧区自动刮板 + 连续粉体排出（外延工艺粉尘量大）。

• 湿式段强化流水壁 + 多级除雾，减少堵塞与维护频次。

4. 节能与智能：

• 按需燃烧（On‑Demand）：燃料随废气流量 / 组分自动配比，待机低耗。

• 远程监控 / 联锁：熄火、超温、压力异常、液位保护，符合 SEMI‑S2/CE/NRTL。

5. 维护友好：前门全开式设计，易检修燃烧器 / 洗涤塔 / 管路；标准配件通用，降低运维成本。

四、优缺点总结

• 优点：超高 H₂处理能力、PFCs 高效分解、大流量混气兼容、自动清灰长周期运行、紧凑型占地。

• 局限：需燃料（天然气 / 丙烷）、水耗高于 G5、初期投资更高、更适合大流量高负载场景（小流量工况性价比不如 G5）。

五、G5 vs G6‑E 快速对比

• *大进气量：G5‑350 为 350 L/min；G6‑E 为 400 L/min。

• H₂处理：G5 *高≤100 L/min；G6‑E *高 200 L/min（专项优化）。

• PFCs 效率：G5 高；G6‑E 更高（温度场优化）。

• 副产物处理：G5 自动刮板；G6‑E 强化刮板 + 连续排粉（适配外延粉尘）。

• 适用场景：G5 适合刻蚀 / 沉积、中小流量；G6‑E 适合外延（Epitaxy）、大流量高氢。

六、选型建议

• 选G6‑E：半导体外延、H₂流量 > 100 L/min、含 Cl₂/ 高粉尘、大流量总管（300–400 L/min）。

• 选G5：刻蚀 / 沉积、PFCs 为主、H₂≤100 L/min、中小流量（≤350 L/min）、预算更敏感。