简要描述：日本Kashiyama樫山工业SDH干式螺杆真空泵
樫山工业（Kashiyama）SD 系列是一款干式螺杆真空泵，以无油、高洁净、低能耗、结构紧凑为核心优势，广泛用于半导体、真空热处理、化工、制药等高要求工艺场景。

日本Kashiyama樫山工业SDH干式螺杆真空泵
日本Kashiyama樫山工业SDH干式螺杆真空泵

一、系列定位与型号划分

• SDX 型：节能基础款，适配常规热处理与洁净工艺，功耗低。

• SDT 型：高耐久工艺款，强化耐腐蚀与耐高温，适配严苛制程。

• SDH 型：超级高耐久款，面向超高温、强腐蚀ji端工艺。

二、核心参数总览（全系列）

• 电源：三相 AC200~240V/50/60Hz。

• 氮气吹扫：0~120 SLM（可选）。

三、核心技术特点

1. 无油干式螺杆：全程无润滑油，零油污染，适配半导体晶圆、真空镀膜等高洁净工艺。

2. 高极限真空：*低可达 0.3 Pa，满足高真空制程需求。

3. 小型化与节能：同级别中占地面积小（较前代缩小约 35%），功耗低，运行成本低。

4. 高耐久设计：

• 特殊耐腐蚀合金与表面处理，适配酸碱、腐蚀性气体。

• 内置加热系统，防止水汽凝结，适合高温高湿工况。

5. 易安装维护：

• 底部带万向脚轮，移动灵活，部署方便。

• 模块化设计，维护间隔长，维护成本低。

6. 国际**认证：符合 SEMI、CE、NRTL 等标准，可用于全球**产线。

四、典型应用场景

• 半导体制造：刻蚀、沉积、离子注入、晶圆清洗等高洁净真空环境。

• 真空热处理：淬火、回火、退火、钎焊等高温真空炉排气。

• 化工与制药：蒸馏、干燥、结晶、反应釜真空，溶剂回收。

• 电子与光学：真空镀膜、溅射、封装、液晶注入等。

五、选型建议

• 常规洁净工艺、注重节能 → 选 SDX 系列。

• 腐蚀性 / 高温制程、要求高稳定性 → 选 SDT 系列。

• ji端工况（超高温、强腐蚀、连续运行）→ 选 SDH 系列。