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| 品牌 | KASHIYAMA/日本 | 供货周期 | 两周 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
Kashiyama樫山工业SDH干式螺杆真空泵
Kashiyama樫山工业SDH干式螺杆真空泵
SDX 型：节能基础款，适配常规热处理与洁净工艺，功耗低。
SDT 型：高耐久工艺款，强化耐腐蚀与耐高温，适配严苛制程。
SDH 型：超级高耐久款，面向超高温、强腐蚀ji端工艺。
| 型号 | *大排气速度 (L/min) | 极限真空 (Pa) | 功耗 (kW) | 冷却水 (L/min) | 尺寸 (长 × 宽 × 高，mm) |
|---|---|---|---|---|---|
| SDX600 | 10,000 | 0.5 | 1.5 | 3.0 | 695×285×850 |
| SDT600 | 18,000 | 0.3 | 3.0 | 4.0 | 695×285×850 |
| SDX1200 | 19,000 | 0.5 | 1.65 | 3.0 | 850×380×950 |
| SDT1200 | 30,000 | 0.3 | 3.15 | 4.0 | 910×420×900 |
| SDX1800 | 50,000 | 0.5 | 2.1 | 3.0 | 1050×515×950 |
| SDT1800 | 100,000 | 0.3 | 3.3 | 4.0 | 1050×515×950 |
| SDH3000 | 定制 | 定制 | 3.3 | 4.0 | 定制 |
| SDH6000 | 定制 | 定制 | 3.7 | 4.0 | 定制 |
电源：三相 AC200~240V/50/60Hz。
氮气吹扫：0~120 SLM（可选）。
无油干式螺杆：全程无润滑油，零油污染，适配半导体晶圆、真空镀膜等高洁净工艺。
高极限真空：*低可达 0.3 Pa，满足高真空制程需求。
小型化与节能：同级别中占地面积小（较前代缩小约 35%），功耗低，运行成本低。
高耐久设计：
特殊耐腐蚀合金与表面处理，适配酸碱、腐蚀性气体。
内置加热系统，防止水汽凝结，适合高温高湿工况。
易安装维护：
底部带万向脚轮，移动灵活，部署方便。
模块化设计，维护间隔长，维护成本低。
国际**认证：符合 SEMI、CE、NRTL 等标准，可用于全球**产线。
半导体制造：刻蚀、沉积、离子注入、晶圆清洗等高洁净真空环境。
真空热处理：淬火、回火、退火、钎焊等高温真空炉排气。
化工与制药：蒸馏、干燥、结晶、反应釜真空，溶剂回收。
电子与光学：真空镀膜、溅射、封装、液晶注入等。
常规洁净工艺、注重节能 → 选 SDX 系列。
腐蚀性 / 高温制程、要求高稳定性 → 选 SDT 系列。
ji端工况（超高温、强腐蚀、连续运行）→ 选 SDH 系列。
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