简要描述：进口樫山工业Kashiyama 超节能干式真空泵
NeoDry G 系列是樫山工业（Kashiyama）旗下，面向半导体与**制程的新一代超节能干式真空泵，属于 MU‑GX 的国际版 / 升级线，核心定位：高效、洁净、低噪、智能。

进口樫山工业Kashiyama 超节能干式真空泵
进口樫山工业Kashiyama 超节能干式真空泵

• NeoDry G 系列是樫山工业（Kashiyama）旗下，面向半导体与**制程的新一代超节能干式真空泵，属于 MU‑GX 的国际版 / 升级线，核心定位：高效、洁净、低噪、智能。

  一、定位与关系

  二、核心参数（主流型号，2026）

  型号	抽速 (L/min)	极限真空 (Pa)	功耗 (kW)	重量 (kg)	冷却
  ND100G	1,660	1.5	0.35	55	水冷
  ND180G	3,000	0.5	0.50	60	水冷
  ND300G	5,000	0.5	0.55	80	水冷
  ND600G	10,000	0.5	0.85	95	水冷
  ND1200G	20,000	0.5	0.95	110	水冷

  三、关键优势（对比老款 MU 系列）

  四、适用场景

  五、与樫山其他系列的区别

• NeoDry G（MU‑GX）：超节能 + 小型化 + 高真空，****

• MU‑X：标准节能型，性价比高，常规洁净工艺

• MU‑P/H：通用 / 耐腐蚀型，重工况、高水汽、腐蚀环境

• SD 系列：大流量螺杆泵，抽速 10,000–100,000 L/min，整线大系统

• 
  

• 半导体：刻蚀、PECVD、离子注入、晶圆清洗

• 光学 / 镀膜：溅射、蒸发、OLED、真空热处理

• 分析仪器：质谱、SEM、XRD（低噪音 + 高稳定）

• 精密化工：蒸馏、干燥、结晶（无油污染 + 节能）

• 标配 Modbus‑RTU，支持远程监控、自诊断、变频调速

• 支持 N₂ 吹扫（0–30 SLM），防结露、防腐蚀，延长寿命

• 极限真空可达 0.5Pa，满足半导体刻蚀、沉积等严苛工艺

• 无油设计，腔体涂层防腐蚀、防粉尘，适配高洁净环境

• 体积比 MU‑P/H 小 30%–40%，重量轻 20%–30%

• 节省洁净室空间，安装更灵活

• 比 MU‑P/H 省电 40%–50%

• 比 MU‑X 再省 10%–15%

• 待机功耗 <0.1kW，长期运行电费显著降低

• 电源：三相 200V/400V（50/60Hz）

• 噪音：≤52dB（比同级别低 3–5dB）

• 接口：进气 NW40/NW80，排气 NW40

• 材质：腔体 / 转子不锈钢 + 陶瓷涂层，无油高洁净

• 品牌：樫山工业（Kashiyama）

• 系列：NeoDry G（简称 ND‑G）

• 对应国内型号：MU‑GX 系列（同平台，命名差异）

• 定位：替代传统 MU‑P/H、MU‑X，主打节能 + 小型化 + 高真空 + 智能化，对标国际一线干式泵。

1. **节能（*大卖点）

2. 小型化 + 轻量化

3. 高真空 + 高洁净

4. 智能控制 + 低维护