简要描述：进口樫山工业Kashiyama 超节能干式真空泵
NeoDry G 系列是樫山工业（Kashiyama）旗下，面向半导体与**制程的新一代超节能干式真空泵，属于 MU‑GX 的国际版 / 升级线，核心定位：高效、洁净、低噪、智能。

进口樫山工业Kashiyama 超节能干式真空泵
进口樫山工业Kashiyama 超节能干式真空泵

一、定位与关系

• 品牌：樫山工业（Kashiyama）

• 系列：NeoDry G（简称 ND‑G）

• 对应国内型号：MU‑GX 系列（同平台，命名差异）

• 定位：替代传统 MU‑P/H、MU‑X，主打节能 + 小型化 + 高真空 + 智能化，对标国际一线干式泵。

二、核心参数（主流型号，2026）

• 电源：三相 200V/400V（50/60Hz）

• 噪音：≤52dB（比同级别低 3–5dB）

• 接口：进气 NW40/NW80，排气 NW40

• 材质：腔体 / 转子不锈钢 + 陶瓷涂层，无油高洁净

三、关键优势（对比老款 MU 系列）

1. **节能（*大卖点）

• 比 MU‑P/H 省电 40%–50%

• 比 MU‑X 再省 10%–15%

• 待机功耗 <0.1kW，长期运行电费显著降低

2. 小型化 + 轻量化

• 体积比 MU‑P/H 小 30%–40%，重量轻 20%–30%

• 节省洁净室空间，安装更灵活

3. 高真空 + 高洁净

• 极限真空可达 0.5Pa，满足半导体刻蚀、沉积等严苛工艺

• 无油设计，腔体涂层防腐蚀、防粉尘，适配高洁净环境

4. 智能控制 + 低维护

• 标配 Modbus‑RTU，支持远程监控、自诊断、变频调速

• 支持 N₂ 吹扫（0–30 SLM），防结露、防腐蚀，延长寿命

四、适用场景

• 半导体：刻蚀、PECVD、离子注入、晶圆清洗

• 光学 / 镀膜：溅射、蒸发、OLED、真空热处理

• 分析仪器：质谱、SEM、XRD（低噪音 + 高稳定）

• 精密化工：蒸馏、干燥、结晶（无油污染 + 节能）

五、与樫山其他系列的区别

• NeoDry G（MU‑GX）：超节能 + 小型化 + 高真空，****

• MU‑X：标准节能型，性价比高，常规洁净工艺

• MU‑P/H：通用 / 耐腐蚀型，重工况、高水汽、腐蚀环境

• SD 系列：大流量螺杆泵，抽速 10,000–100,000 L/min，整线大系统